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供貨周期	一個月	規(guī)格	可咨詢
貨號	L40系列	應用領(lǐng)域	化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合
主要用途	半導體行業(yè)用于供應純水和化學溶液

RIX半導體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗L40系列

規(guī)格：

流體：純水，藥液,，空氣,，真空
最大壓力：-0.095-0.6Mpa
最大通路：1
最大轉(zhuǎn)速：600min-1
主要途徑與特點：

晶圓清洗時為旋轉(zhuǎn)刷提供純水或清洗液時使用。
或者,、精磨,、粗磨等各種裝置的晶圓真空夾緊時使用。
氟化樹脂的構(gòu)造,、流路中沒有金屬粒子溶出隱患。還有使用了強化研磨粉或研磨液吸入現(xiàn)象的陶瓷密封面,。

應用端設(shè)備對象：精磨/粗磨,、晶圓清洗裝置、高速旋轉(zhuǎn)托盤,、CMP裝置

微信圖片_20230413112720.jpg

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