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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,綜合 |
高溫均勻分布：在CVD,、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣。
可以減少氣體固化量,。
強耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強的表面處理,。減少腐蝕性氣體排氣時的腐蝕性。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵
ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵
ULVAC集團成立于1952年,。自創(chuàng)業(yè)以來,，與液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件以及汽車,、食品和制藥等一般工業(yè)設(shè)備等廣泛行業(yè)的業(yè)務(wù)合作伙伴一起,，通過挑戰(zhàn)利用真空技術(shù)創(chuàng)造創(chuàng)新，努力創(chuàng)造新的價值,。在顯示器,、半導(dǎo)體、電子,、電氣,、金屬、機械,、汽車,、化工、食品,、制藥等行業(yè)以及大學(xué)和研究機構(gòu)的真空設(shè)備,、周邊設(shè)備、真空元件和材料的開發(fā),、制造,、銷售、客戶支持,、進出口。此外,，還是真空技術(shù)的研究主管和技術(shù)顧問,。旨在通過相互合作和協(xié)作以及真空技術(shù)和周邊技術(shù)的綜合使用，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻。
利用鋁材優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能使排氣腔室整體高溫分布均勻,。適用于半導(dǎo)體?電子設(shè)備和顯示器制造的
CVD或蝕刻等會產(chǎn)生升華性氣體的工藝
高溫均勻分布：在CVD,、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣?？梢詼p少氣體固化量,。
• 強耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強的表面處理。減少腐蝕性氣體排氣時的腐蝕性
型號：
LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
LR300 LR600 LR1200 LR1800
LR3601 LR3601-T LR3601-R LR3601-TR
HR60 HR90 UR421-T
HR300 HR600 UR600
HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT