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PCH1106 MK2 CHF8112傳感器

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更新時(shí)間：2024-01-24 17:25:20瀏覽次數(shù)：387

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按其制造工藝

傳感器（圖3）
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上,。
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的,，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),，同樣可將部分電路制造在此基板上,。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的,，基片通常是Al2O3制成的,，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形,。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠,、凝膠等）生產(chǎn),。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型,。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。



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