一,、高襯度的低電壓VC（voltage contrast）成像
蔡司Gemini電子光學(xué)技術(shù)擁有優(yōu)異的低電壓成像能力,，能獲得準確的電壓襯度（PVC）圖像，用于快速的失效定位,。
▲ SRAM區(qū)域的電壓襯度圖像
二,、有利于電性表征的不漏磁光學(xué)系統(tǒng)
蔡司Gemini鏡筒可實現(xiàn)不漏磁的超低電壓成像，是納米探針（nanoprobing）測試的理想平臺,。具備3nm制程的測試能力,，且能實現(xiàn)低至100eV的SEM實時成像，極大地降低電子束輻照損傷,。
▲ 80V加速電壓下成像,，SRAM區(qū)域和八根納米探針
三、創(chuàng)新的探測器技術(shù)提升速度,、分辨率和襯度
亞表面結(jié)構(gòu)的觀察和快速導(dǎo)航需要高掃描速度,、高分辨、高信噪比的高電壓成像,。蔡司高速背散射電子探測器（Rapid BSD）滿足了這類使用需求,。
▲ 5nm FinFET的背散射電子圖像
四、超大視野的高分辨成像
在大面積成像中實現(xiàn)精度和效率的兼顧需要大視野無畸變成像的能力,，Gemini鏡筒的設(shè)計提供了12mm的觀察視野和最大32k x 24k像素的分辨率,，可以實現(xiàn)單張圖片的大視野高分辨，也可使用自動的拍圖拼圖工作流程進一步提升效率,。
▲ 2.5D封裝截面,，單張圖大視野成像
五、穩(wěn)定性和易用性
改變電壓,、束流時保持聚焦和視野的一致性能顯著提高日常FA工作的效率,，蔡司Gemini鏡筒的穩(wěn)定性更好地實現(xiàn)了這一特點。
▲ 切換電子束加速電壓時圖像變化
六、為半導(dǎo)體應(yīng)用專用定制的軟件解決方案
蔡司Solutions Lab可為半導(dǎo)體用戶快速開發(fā)專用于特定場景的定制化解決方案,，無論是自動化工作流程,、AI助力的特征識別、分割,、導(dǎo)航,、量測或數(shù)據(jù)管理，我們都能為您提供專業(yè)支持,。利用蔡司顯微鏡的潛力,，更高效獲得所需的數(shù)據(jù)。
▲ 使用可視化編程工具實現(xiàn)電鏡的自動化工作流程
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