分析型掃描電子顯微鏡的能夠觀察材料表面的微觀結(jié)構(gòu),、形態(tài)、晶界,、相界等,，分析材料的表面粗糙度、顆粒大小及分布等,，這些信息對于了解材料的性質(zhì),、性能和制備工藝等具有重要意義。結(jié)構(gòu)：
電子光學(xué)系統(tǒng)：包括電子槍,、電磁透鏡和掃描線圈等部件,。電子槍是發(fā)射電子的源，電磁透鏡則用于匯聚電子并調(diào)節(jié)電子束的聚焦?fàn)顟B(tài),，而掃描線圈則使電子束在樣品表面作有規(guī)則的掃描動(dòng)作,。
信號探測處理和顯示系統(tǒng)：在電子束與樣品相互作用的過程中，會(huì)產(chǎn)生各種信號,，如二次電子,、背散射電子、吸收電子,、X射線等。這些信號被相應(yīng)的探測器接收，轉(zhuǎn)換為電信號,，再經(jīng)過放大和處理后傳輸?shù)斤@像管或計(jì)算機(jī)系統(tǒng),，最終以圖像的形式顯示出來。
真空系統(tǒng)：為了確保電子束的正常運(yùn)行和避免污染,，分析型掃描電子顯微鏡需要在高真空環(huán)境下工作,。真空系統(tǒng)的作用是排除空氣，創(chuàng)造一個(gè)清潔的工作環(huán)境,。
冷卻循環(huán)水系統(tǒng)：為了防止設(shè)備過熱,，分析型掃描電子顯微鏡通常需要配備冷卻循環(huán)水系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠?qū)⒃O(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生的熱量帶走,，保證設(shè)備的正常工作,。
電源供給系統(tǒng)：為分析型掃描電子顯微鏡提供所需的電源，包括供電,、控制和調(diào)節(jié)等電路,。
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