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供應簡介

ULVAC愛發(fā)科日本精品進口真空計
用于太陽能電池,、FPD,、半導體和電子元件等各種設備的低真空區(qū)域的過程控制。
?用于熔爐等各種工業(yè)設備的低真空區(qū)域的過程控制,。
?用于在線型,、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設備的低真空區(qū)域的工藝控制。

詳細介紹

ULVAC愛發(fā)科日本精品進口真空計

產(chǎn)品特點：

皮拉尼真空計可測量從大氣壓到5×10 _-2
Pa的寬范圍壓力,。此外,，該真空計去除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示部分，將其縮小到最少的必要功能,，從而可以“降低成本"和“節(jié)省空間",。
[特點] -廣域測量：可以測量
從大氣壓到5 x 10 _-2 Pa的廣域。
- 節(jié)省布線：集成傳感器和控制器可減少布線,、空間和功耗,。
?提高可視性：配備LED，可以檢查異常情況,。
?可進行一鍵式調整：可通過一鍵式進行氣壓調整和零點調整,。
?維護：探頭更換方便。
- 燈絲材料采用耐腐蝕性強的鉑金,。
?測量值輸出信號：壓力為標準配備,，日志輸出為DC0至10V。
?提高耐沖擊性：采用高耐沖擊性的結構設計,。
?控制輸出信號：可輸出2個設定點,。
- 兼容標準：符合CE標準。
[應用] -
用于太陽能電池,、FPD,、半導體和電子元件等各種設備的低真空區(qū)域的過程控制,。
?用于熔爐等各種工業(yè)設備的低真空區(qū)域的過程控制。
?用于在線型,、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設備的低真空區(qū)域的工藝控制,。

規(guī)格/尺寸信息

種類

[壓力傳感器] 壓力傳感器

傳感器/監(jiān)視器結構

分離型/連接器連接

工作溫度范圍（℃）

10～40

工作濕度范圍（%）

15～80

測量壓力范圍（Pa）

5.0×10 ^-2～1.0×10 ⁺⁵

電源電壓

DC18?30V

外形尺寸寬×深×高（毫米）

70×46×28

規(guī)格

無操作/顯示（帶探頭）

控制輸出信號

2個設定點

串行通訊規(guī)格

沒有任何

工作溫度范圍（℃）

10～40

測量頭

包括 SWP-16

13717023088

規(guī)格/尺寸信息

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