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深圳市京都玉崎電子有限公司
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玉崎【小王子新上市】壓力控制器精品UPC-4CW2-C150H
玉崎【小王子新上市】壓力控制器精品UPC-4CW2-C150H
應(yīng)用
任何壓力都可以通過電信號(hào)設(shè)定。
當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量連接到一條管線時(shí),，壓力會(huì)被調(diào)整,，以使氣體流量的快速波動(dòng)不會(huì)影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器,。
用于下游壓力控制,。
特征
●工作原理：內(nèi)置壓力傳感器，保持壓力恒定,。
●可通過電信號(hào)設(shè)定任意壓力,。
●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時(shí)，可以進(jìn)行非常穩(wěn)定的流量控制,。
●當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量控制器連接到一條線路時(shí),，氣體流量的突然波動(dòng)可能會(huì)影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下,，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）,。
●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內(nèi)部壓力恒定，提高汽化量的穩(wěn)定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器,。還提供帶流量監(jiān)控器的高溫型（150°C,、250°C）。
●可用于從半導(dǎo)體,、平板顯示器,、太陽能電池板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領(lǐng)域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（請(qǐng)注明）,。符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)：本產(chǎn)品符合 RoHS 規(guī)定并且是環(huán)保的,。
規(guī)格
| 模型 | UPC （下游壓力控制器） | FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet) | |
|---|---|---|---|
| 壓力范圍 | FS 13.3kPa abs.(100Torr) | FS 150/300/500kPa | FS 150/300/500kPa |
| 控制壓力范圍 | 1 到 100% | 1 至 100% *1 | |
| 控制閥CV值 | - | L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03 | |
| 壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng) （自動(dòng)調(diào)零后） | 1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP | FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS,，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS,，20 至 100%：±0.5% SP] | |
| 供氣壓力范圍 | 0 至 200kPaG | ～897.3kPaG | - |
| 耐壓性 | 200kPaG | 1MPaG | |
| 外部泄漏 | ＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec | ||
| 使用溫度范圍 | 0～50℃（系統(tǒng)保證溫度范圍：15～35℃）*2 | ||
| 電源電壓、電流消耗 | +15VDC：120mA,，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC,，4.0W | ||
| 壓力設(shè)定/輸出信號(hào) | 0-10VDC/0-10VDC | 0-5VDC/0-5VDC | |
| 接液部分材料 | SUS316L，鎳鈷合金 | SUS316L,，鎳鈷合金,，F(xiàn)S9 | |
| 連接配件/尺寸 | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm) | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm) | |
