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支持半導(dǎo)體制造的超純水是什么,?
清洗工序約占半導(dǎo)體制造工序的30%,采用“超純水"(UPW),,最大限度地去除雜質(zhì),。
超純水是通過(guò)最大限度地去除天然水中的雜質(zhì)而得到凈化的水。自來(lái)水中含有溶解的各種物質(zhì),,包括鈣,、鎂等礦物質(zhì)以及氯等消毒劑。這些雜質(zhì)會(huì)嚴(yán)重?fù)p害半導(dǎo)體制造等精密工藝中的產(chǎn)品質(zhì)量,。
因此,,在半導(dǎo)體制造等要求高純度的領(lǐng)域, 去除有機(jī)物,、微粒,、溶解氣體等,使離子更接近氫離子(H+)和氫氧根離子(OH-),。被使用,。
半導(dǎo)體制造涉及一系列復(fù)雜的工藝,需要極其先進(jìn)的技術(shù),。超純水是該制造過(guò)程的重要組成部分,。
在半導(dǎo)體制造中,復(fù)雜的電路圖案形成在稱(chēng)為硅晶片的薄板上,。在此過(guò)程中,會(huì)進(jìn)行各種處理,,例如切割晶圓和注入雜質(zhì),。在這些處理之后,幾乎總是有一個(gè)清潔步驟,。
該清洗過(guò)程使用超純水,。超純水是最大限度去除雜質(zhì)的極其純凈的水。超純水之所以如此重要,,是因?yàn)榘雽?dǎo)體電路極其微小,,即使是最輕微的雜質(zhì)也會(huì)對(duì)產(chǎn)品性能產(chǎn)生重大影響。
超純水純度
超純水的純度高,,與自來(lái)水相比差異明顯,。經(jīng)過(guò)一些研究,,我發(fā)現(xiàn)了一些有趣的例子,所以我想與大家分享,。
例如,,考慮 50 米游泳池的雜質(zhì)含量。
自來(lái)水:2至數(shù)桶
純凈水:1杯
超純水:1勺耳朵清潔水
這是超純水純度高的一個(gè)例子,。這很容易想象,。
如何制備超純水
為了生產(chǎn)超純水,有效去除水中所含的以下四種雜質(zhì)非常重要,。
無(wú)機(jī)物質(zhì):包括源自天然礦物質(zhì)的物質(zhì),,如鈣離子、鎂離子(硬度成分),、氯離子和重金屬離子,,以及人工混合到水中的物質(zhì)。
有機(jī)物質(zhì):種類(lèi)繁多,,包括植物來(lái)源的木質(zhì)素和腐植酸,,生物來(lái)源的蛋白質(zhì)和核酸,以及殺蟲(chóng)劑和合成洗滌劑等人工有機(jī)化合物,。
細(xì)顆粒:含有肉眼看不見(jiàn)的細(xì)小顆粒,,例如從土壤中浸出的顆粒以及水管腐蝕引起的鐵銹。
微生物:包括生活在水中的各種微生物,,例如細(xì)菌,、病毒和藻類(lèi)。
這些雜質(zhì)各自具有不同的性質(zhì),,需要選擇最佳的處理方法來(lái)去除它們,。目前的純水設(shè)備和超純水設(shè)備通過(guò)結(jié)合先進(jìn)的分離技術(shù)去除這些雜質(zhì)來(lái)制造高純水。