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神港精機SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備
這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO"的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),，
針對金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng),。
兼容最新的半導體和MEMS工藝，我們實現(xiàn)了Al和Cr的納米級線寬蝕刻,。
與傳統(tǒng)的SERIO相比,，它可以蝕刻廣泛的基材和應用，包括除
Si晶圓之外的基材,、藍寶石和GaAs等化合物半導體晶圓,、光掩模用玻璃和石英。
與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類型是標準配置,，并且可以根據(jù)工藝進行定制,，例如加熱臺和更大的腔室。
與經(jīng)過驗證的多室系統(tǒng)相結(jié)合,，可以非常輕松地部署到全面的大規(guī)模生產(chǎn)應用中,。
配備多個蝕刻室和一個SWP灰化室，可以實現(xiàn)高產(chǎn)量,、一致的金屬膜蝕刻工藝,。
我們使用我們的內(nèi)部演示機進行過程測試，提供好的硬件和軟件來滿足您的需求,。
我們?yōu)榘雽w,、MEMS、光掩模,、高頻器件,、光子器件等從工藝開發(fā)到量產(chǎn)提供可靠的支持。
