NEW-COSMOS新宇宙氣體檢測傳感器
目標氣體 半導體氣體
檢測原理 電化學,、電化學+裂解器
取樣方法 萃取
質(zhì)量 約1.3公斤
通過更換傳感器單元,可以檢測各種半導體氣體,。
用于有毒氣體半導體工廠的氣體泄漏檢查和濃度測量,。
NEW-COSMOS新宇宙氣體檢測傳感器
特點:
■便攜式氣體檢測儀,用于 NF3 檢測,。無需任何可選設備即可檢測 NF3,。
■ 校準后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場更換,減少維護工作,。
■ 大液晶屏
■ 2路電源:干電池和交流電源(可選)
■ 小巧輕便
■ 警報聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化,。
可選測量氣體:
氨[NH3],硅烷[SiH4],,二氯硅烷[SiH2Cl2],,砷烷[AsH3],膦[PH3],,,,硒化氫【H2Se】,鍺烷【GeH4】,,氯[Cl2],,,氯化氫【HCI】,,氫氟化物【HF],,溴化氫【HBr】,,一氧化氮【NO】,硫化氫【H2S】,,一氧化碳【CO】,,二硅烷【Si2H6】,氟【F2】,,臭氧【O3】,,三氟化氮【NO3】
NEW-COSMOS新宇宙氣體檢測傳感器

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