1 概述

　　電容式壓力變送器是應(yīng)用廣泛的壓力變送器。近年來,，隨著微電子技術(shù),、微處理器技術(shù)以及現(xiàn)場總線技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了以硅微電容作為壓力傳感器,、符合現(xiàn)場總線協(xié)議的智能型壓力/差壓變送器,。

　　2工作原理

　　(1) CXT結(jié)構(gòu)

　　1測量膜片(硅微電容);2固定電極;3金屬化通孔;

　　4陶瓷片;5引線;6電極

　　圖1 硅微電容傳感器結(jié)構(gòu)圖

　　1波紋座;2隔離膜片;3封液;4測量膜片;5保護(hù)膜片

　　圖2 浮動膜盒結(jié)構(gòu)

　　CXT仍采用電容測量原理，但在結(jié)構(gòu)上和傳統(tǒng)的電容傳感元件有很大不同,，電容用硅材料制成,，體積特別小，僅9mm×9mm×7mm,，故稱硅微電容傳感器,。其結(jié)構(gòu)如圖1所示。為了消除被測介質(zhì)溫度和靜壓對測量膜片的影響,，變送器采用了的浮動膜盒結(jié)構(gòu),。硅微電容傳感器是整體封裝，周圍被封液包,，故稱浮動膜盒結(jié)構(gòu),，如圖2所示。硅微電容傳感器的膜盒結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)膜盒結(jié)構(gòu)有很大不同,，硅微電容傳感器不在膜盒的下部,，而是在上部，傳感器移到膜盒上部,，遠(yuǎn)離測量介質(zhì),，受介質(zhì)溫度變化的影響減小;同時檢測器內(nèi)部裝有溫度敏感元件,，根據(jù)敏感元件測量的溫度，變送器微處理器隨時修正溫度變化帶來的影響,，所以儀表具有優(yōu)異的溫度特性;膜盒基座四周均受壓力作用,，所以受靜壓影響極小;保護(hù)膜片不再是測量膜片，當(dāng)單向超壓大于量程3倍時,，保護(hù)膜片產(chǎn)生變形,，吸收部分封液壓力，從而保護(hù)硅微電容,，使變送器抗過壓能力大大增強(qiáng),。

　　(2) 感測原理

　　圖1中，硅材料膜片形成兩個電容,，設(shè)B,、C兩極間電容為C1，A,、B兩極間電容為C2,，當(dāng)傳感器兩端壓力PH、PL變化時,，會引起硅微電容C1和C2的變化,，測量電容的變化量即可計算出壓力差的大小。圖2是CXT智能變送器電容感測電路的原理簡圖,。當(dāng)接通電源時,，電容C1通過R1得到充電，C2因開關(guān)S2閉合而為零電位,。當(dāng)C1的充電電壓達(dá)到觸發(fā)器Q的門檻電壓時,，觸發(fā)電路Q翻轉(zhuǎn)，并以R3及C3的時間常數(shù)控制脈沖開關(guān)輸出,。當(dāng)開關(guān)S1接通時,，C1放電，C2通過R2充電,。與此同時,，計數(shù)器對充放電進(jìn)行重復(fù)計數(shù)，并以N次為1個循環(huán),，計數(shù)器對N次的脈沖時間進(jìn)行計數(shù),，求得與靜電容量C1成比例的時間T1(T1已是數(shù)字量)，同樣也可求得與靜電容量C2成比例的時間數(shù)字T2,，根據(jù)電容充放電時間和電容容量的關(guān)系,，可得到下式：

　　圖2 CXT感測電路原理簡圖

(1)

　　式(1)中Tc為補(bǔ)正系數(shù);Cs為線性補(bǔ)正電容。

　　微處理器對T1,、T2和線性補(bǔ)正系數(shù)TC進(jìn)行運(yùn)算,，得到與壓力成比例的結(jié)果,，即：

(2)

　　式(2)中K為比例系數(shù)。

　　(3) 變送原理

　　圖3是標(biāo)準(zhǔn)型CXT變送器的工作原理框圖,。圖中,，傳感膜盒中的EEPROM存放膜盒制造過程中由生產(chǎn)線上的計算機(jī)采集到的數(shù)據(jù)，包括測量范圍,、輸入輸出特性,、靜壓和溫度特性、修正數(shù)據(jù)等參數(shù);電子單元中的EEPROM中存放變送器調(diào)試過程中儀表的各種參數(shù),。雙存儲器結(jié)構(gòu)使儀表有良好的部件互換性,。同時微處理器根據(jù)兩個溫度傳感器測得的溫度隨時修正溫度帶來的影響。

　　圖3 CXT變送電路原理框圖

　　CXT標(biāo)準(zhǔn)型帶有HART通訊功能,。HART(Highway Addressable Remote Transducer,，可尋址遠(yuǎn)程傳感器數(shù)據(jù)公路)是用于現(xiàn)場智能儀表和控制室設(shè)備間通訊的一個過渡性協(xié)議。所謂“過渡"就是指HART兼容了傳統(tǒng)4~20mA模擬信號與數(shù)字通訊信號,。HART協(xié)議采用了Bell202標(biāo)準(zhǔn)的FSK頻移鍵控信號,。它在4~20mA的模擬信號上疊加幅度為0.5mA的正弦調(diào)制波，1200Hz代表邏輯“1",，2200Hz代表邏輯“0"。由于所疊加的正弦信號平均值為0,，所以不會影響4～20mA的輸出電流,。因此，模擬儀表在數(shù)字通訊時仍可以照常工作,，這是HART標(biāo)準(zhǔn)的重要優(yōu)點(diǎn),。

　　全數(shù)字通訊是現(xiàn)場儀表發(fā)展的趨勢，CXT還采用了國際現(xiàn)場總線標(biāo)準(zhǔn)中使用廣泛的FF協(xié)議和Profibus協(xié)議,。標(biāo)準(zhǔn)型變送器更換通訊板后,，即可升級為全數(shù)字型智能壓力/差壓變送器。