陀螺系統(tǒng)組成,，它由敏感元件,、驅(qū)動(dòng)電路、檢測(cè)電路和力反饋電路等組成,。在梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器的差動(dòng)電路上分別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓,，由于交變的靜電驅(qū)動(dòng)力矩的作用，質(zhì)量片在平行于襯底的平面內(nèi)產(chǎn)生繞驅(qū)動(dòng)軸Z軸的簡(jiǎn)諧角振動(dòng),。當(dāng)在振動(dòng)平面內(nèi)沿垂直于檢測(cè)軸的方向(X方向)有空間角速度Ω輸入時(shí),，在哥氏力的作用下，檢測(cè)質(zhì)量片便繞檢測(cè)軸(Y軸)上下振動(dòng),。這種振動(dòng)幅度非常小,，可以由位于質(zhì)量片下方、淀積在襯底上的電容極板檢測(cè),，并通過(guò)電荷放大器、相敏檢波電路和解調(diào)電路進(jìn)行處理,，得到與空間角速度成正比的電壓信號(hào),。

在科研及加工過(guò)程中，一個(gè)重要的內(nèi)容就是檢測(cè)陀螺儀的特性,，如工作狀態(tài)諧振頻率,、帶寬增益、Q值等,，于是就提出了微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的研制任務(wù),。根據(jù)陀螺儀的工作原理，整個(gè)儀器包括兩大部分：驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分和表頭的輸出信號(hào)檢測(cè)部分,。驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分對(duì)待測(cè)的慣性傳感器給予適當(dāng)?shù)尿?qū)勸信號(hào),，使傳感器處于工作狀態(tài)。信號(hào)檢測(cè)部分要求檢測(cè)出微小電容變化,，經(jīng)過(guò)放大,、解調(diào)處理后，將模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量采集到PC機(jī)中,，分析輸出信號(hào),，以確定慣性表的特性。