陀螺系統(tǒng)組成,，它由敏感元件、驅(qū)動電路,、檢測電路和力反饋電路等組成,。在梳狀靜電驅(qū)動器的差動電路上分別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓，由于交變的靜電驅(qū)動力矩的作用,，質(zhì)量片在平行于襯底的平面內(nèi)產(chǎn)生繞驅(qū)動軸Z軸的簡諧角振動,。當在振動平面內(nèi)沿垂直于檢測軸的方向(X方向)有空間角速度Ω輸入時，在哥氏力的作用下,，檢測質(zhì)量片便繞檢測軸(Y軸)上下振動,。這種振動幅度非常小，可以由位于質(zhì)量片下方,、淀積在襯底上的電容極板檢測,，并通過電荷放大器、相敏檢波電路和解調(diào)電路進行處理,，得到與空間角速度成正比的電壓信號,。

在科研及加工過程中，一個重要的內(nèi)容就是檢測陀螺儀的特性,，如工作狀態(tài)諧振頻率,、帶寬增益、Q值等,，于是就提出了微機械慣性傳感器檢測平臺的研制任務,。根據(jù)陀螺儀的工作原理，整個儀器包括兩大部分：驅(qū)動信號發(fā)生部分和表頭的輸出信號檢測部分,。驅(qū)動信號發(fā)生部分對待測的慣性傳感器給予適當?shù)尿?qū)勸信號,，使傳感器處于工作狀態(tài)。信號檢測部分要求檢測出微小電容變化,，經(jīng)過放大,、解調(diào)處理后，將模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量采集到PC機中,，分析輸出信號,，以確定慣性表的特性。