MEMS振動傳感器簡介

MEMS加速度傳感器是運(yùn)用MEMS芯片（即微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems））結(jié)合傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料,實(shí)現(xiàn)對單軸、雙軸甚至三軸加速度進(jìn)行測量并產(chǎn)生模擬或數(shù)字輸出的傳感器,。MEMS無線智能振動傳感器是集成MEMS加速度芯片、微執(zhí)行器,、微機(jī)械機(jī)構(gòu),、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件,、供電模塊、通訊模塊等于一體的高度集成化和智能化的微系統(tǒng),。其具有免布線,、便捷部署,、體積小、高性價比,、多功能、數(shù)字化輸出和邊緣計(jì)算等特點(diǎn),，是工業(yè)物聯(lián)發(fā)展的主流趨勢。

振動測量與分析首要條件就是將傳感器與被測物體緊密相連,，使傳感器能真實(shí)測得的被測物體的振動信號,。如何能夠獲取到設(shè)備真實(shí)的信號，一般來說需兩個條件：即合適的測量位置以及良好的安裝固定方式,。

測點(diǎn)選擇

常見的設(shè)備均為滾動旋轉(zhuǎn)設(shè)備,，滾動的旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)動部件有轉(zhuǎn)軸、聯(lián)結(jié)器,、齒輪,、葉輪,、傳動帶及帶輪等等。所有運(yùn)動部件安裝在轉(zhuǎn)軸上,，轉(zhuǎn)軸通過滾動軸承或滑動軸承安裝在軸承座上,。

復(fù)雜的殼體需要詳細(xì)的內(nèi)部設(shè)計(jì)資料以確定軸承類型和機(jī)械信號傳遞的途徑。盡管殼體散熱片,、聯(lián)軸器罩和風(fēng)扇罩這類部件會限制安裝,，傳感器仍須盡量靠近軸承安裝。如果軸承難以接近,，可以安裝傳感器后將線接到隔壁合適位置，允許對測點(diǎn)的非中斷測量,。下圖給出典型機(jī)器上傳感器安裝的推薦位置,。

安裝方式

目前常見的安裝方式有：螺釘安裝、粘膠安裝,、磁吸安裝,。

1、螺釘安裝：需要在被測設(shè)備打孔,，安裝固定螺釘然后固定傳感器,，一般常用M6的螺釘。特殊的安裝位置及設(shè)備,，我們可以為客戶定制安裝底座,。