精密干涉儀主機(jī)

精密干涉儀主機(jī)：分束器及補(bǔ)償板的平面度優(yōu)于1/10λ測(cè)微螺旋最小分度對(duì)應(yīng)動(dòng)鏡行程0.00025mm,，動(dòng)鏡行程0.625mm法布里-珀羅反射鏡90%反,，1%透，直徑30mm,；模塊化,，便捷拆卸，可自行組裝,，調(diào)節(jié),。

激光器

He-Ne激光器：長(zhǎng)度270mm，外徑46mm,，氦氖激光器,，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,發(fā)散角<5mrad,，單模輸出,；帶有專用電源，尺寸：200*180*70mm,；支架：可卡裝50mm以內(nèi)的激光器或其他管狀物，表面噴砂氧化處理,，保證質(zhì)量的同時(shí)外觀的美度也大大提升,。

調(diào)整架

磁吸式擴(kuò)束器、延伸架,、薄膜夾持架,，兩用觀察像屏，透明薄片,，擴(kuò)束鏡架,，轉(zhuǎn)動(dòng)延伸架保證即使兩個(gè)光學(xué)件靠近，也可使其上兩個(gè)光學(xué)件對(duì)稱偏離光軸,；三維精密調(diào)整架等,；角度精度±4′，分辨率0.005mm，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)保證等雙軸等高,，橫向偏差1′,，縱向偏差1′

光學(xué)元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%,，直徑-0.2mm,，中心偏差3′，光圈1-5,；局部誤差為0.2-0.5,，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化鎂增透膜鍍膜,，有效孔徑90%,；反射鏡，擴(kuò)束鏡4.5等,；

毛玻璃屏

直徑60mm,，高強(qiáng)度鋁合金外框，表面噴砂氧化處理

氣室

氣室測(cè)空氣折射率,，長(zhǎng)度：80 mm

光源

鎢/納雙燈(用于白光干涉),，鈉燈20W；溴鎢燈15W,，6V/3V,，含電箱控制驅(qū)動(dòng)器

精密電動(dòng)平移臺(tái)

步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)調(diào)整;

高精度的滾珠絲桿,，分辨率高,；

高精度交叉滾柱導(dǎo)軌副，結(jié)構(gòu)緊湊,，運(yùn)行平穩(wěn),；

合適科研及工業(yè)客戶，可以組成二維,、三維調(diào)整臺(tái)

行程 ：15mm

臺(tái)面尺寸： 40x40mm

導(dǎo)軌形式： V-shaped guide rail+ cross   roller

導(dǎo)程：1mm

分辨率：(8細(xì)分   0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重復(fù)定位精度： <0.001mm

直線度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程誤差為： <0.0005mm

上下擺動(dòng)： 25"

左右擺動(dòng)： 20"

max負(fù)載： 5kg

自重： 0.4kg

電器控制

步進(jìn)電機(jī)： 28BYH250B(1.8°)

線纜接口： DB9

極限傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2個(gè))

零位傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中間)

傳感器輸入電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出形式： 集電極開(kāi)路 NPN

驅(qū)動(dòng)控制器

控制一維到三維電動(dòng)位移臺(tái),；

集穩(wěn)壓電源、驅(qū)動(dòng)器,、控制器于一體,，采用32位微處理器；

漢字液晶顯示,，漢字智能鍵盤(pán),；

菜單式操作，可作運(yùn)行速度,、加速度,、歸零速度,、回差、細(xì)分,、步進(jìn)當(dāng)量等多種設(shè)置,。每個(gè)軸可獨(dú)立設(shè)置參數(shù)；

提供光電開(kāi)關(guān)信號(hào),，先進(jìn)的細(xì)分驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),，可達(dá)64細(xì)分，電流可調(diào),，確保電移臺(tái)處于穩(wěn)定運(yùn)行狀態(tài),；

標(biāo)準(zhǔn)RS232接口，可與計(jì)算機(jī)相連,，通過(guò)計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)電動(dòng)位移臺(tái)的操作,，操作界面直觀，軟件功能豐富,，開(kāi)放源程序,，提供二次開(kāi)發(fā)平臺(tái)。

壓電陶瓷

輸出正弦波調(diào)制幅度：0-250V連續(xù)可調(diào),；輸出直流偏置電壓0-25V,，連續(xù)可調(diào)；輸出頻率：20-50Hz

數(shù)顯計(jì)數(shù)裝置

供電電源：DC=9V

光電探測(cè)組件：6×6感光面 

計(jì)數(shù)范圍：0-9999

相應(yīng)時(shí)間：≤0.2S 

光譜響應(yīng)范圍：300-1000nm

底座配套干涉儀·使用,，主體部分可單獨(dú)用于測(cè)量條紋明暗變化數(shù)值

采用迭代采樣法,，具有防抖動(dòng)功能

工作條件

使用環(huán)境   (溫度在15℃～40℃，濕度20%-80%)

無(wú)強(qiáng)振動(dòng)源,、無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾,。

室內(nèi)保持清潔、無(wú)腐蝕性氣體,；且與墻面墻體盡量保持一定的距離

CCD攝像頭+測(cè)量軟件

測(cè)量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25幀

輸出接口：USB3.0輸出

相機(jī)功能：圖像拼接,、景深融合、鏡像

相機(jī)像素：500萬(wàn)像素

外接設(shè)備：臺(tái)式電腦或電腦筆記本

操作方式：鼠標(biāo)

基本功能：拍照,、錄像,、測(cè)量、存儲(chǔ)

畫(huà)質(zhì)調(diào)整：曝光,、白平衡,、色彩,、顏色可調(diào)

功能描述：

移動(dòng)：移動(dòng)畫(huà)面上的測(cè)量工具,，整體移動(dòng)或者移動(dòng)某一個(gè)端點(diǎn)

點(diǎn)：標(biāo)注圖像上的某一點(diǎn)

直線： 繪制一條直線，測(cè)量直線的長(zhǎng)度

折線： 繪制折線,，鼠標(biāo)右鍵結(jié)束繪制,，測(cè)量折線的總長(zhǎng)度

矩形： 繪制一個(gè)長(zhǎng)方形,，測(cè)量長(zhǎng)方形的面積

不規(guī)則多邊形： 繪制不規(guī)則多邊形，鼠標(biāo)右鍵結(jié)束繪制,，測(cè)量多邊形的面積

圓： 圓心和半徑確定圓,，測(cè)量圓的半徑、面積

兩點(diǎn)定圓： 直徑與圓周的兩點(diǎn)確定一個(gè)圓,，測(cè)量圓的半徑,、面積

三點(diǎn)定圓： 圓周上的三個(gè)點(diǎn)確定一個(gè)圓，測(cè)量圓的半徑,、面積

圓?。喝齻€(gè)點(diǎn)確定一段圓弧，測(cè)量圓弧的長(zhǎng)度

角度： 測(cè)量角度

點(diǎn)線距： 測(cè)量一個(gè)點(diǎn)到一條直線的垂直距離

刪除： 刪除一個(gè)測(cè)量工具,，選擇刪除工具后,，點(diǎn)擊畫(huà)面上測(cè)量工具的某一點(diǎn)端點(diǎn)，刪除測(cè)量工具  

全部刪除： 刪除畫(huà)面上的所有測(cè)量工具

導(dǎo)出：導(dǎo)出測(cè)量數(shù)據(jù)到cSV文件中,，可用Excel打開(kāi)