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介紹：

1)顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列,，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備,。

2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機(jī)，即可在涂布光阻的基板上進(jìn)行數(shù)個(gè)微米分辨率的曝光,。

3)Pattern 形狀可以使用計(jì)算機(jī)繪圖自由制作,。

4)可在一般環(huán)境操作,，樣品外觀及尺寸限制小,，價(jià)格比一般電子束曝光機(jī)更便宜、方便性更高,，可以降低研發(fā)成本,。

使用案例：

ü形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測(cè)用試料之電極。

üMo 原石取出薄片,，形成原石特性評(píng)估的電極,。

特色：

?使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統(tǒng)，可比既有系統(tǒng)擁有更具性價(jià)比,。

?軟件操作簡(jiǎn)便,，可以自由繪制曝光Pattern。

?透過物鏡倍率選擇,，調(diào)整曝光范圍大小與分辨率,。

?可以制造微米等級(jí)尺寸的 Pattern 。

無錫浩輝者新材料科技有限公司依靠多年材料特性研究的經(jīng)驗(yàn)及對(duì)檢測(cè)設(shè)備及技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用,，為客戶提供材料檢測(cè)分析儀器及方法,。讓客戶深入了解全面的分析技術(shù)，以及其性能限制，為客戶的分析需求選擇適合的分析儀器,。與此同時(shí),，我們會(huì)幫助輔導(dǎo)客戶完成整個(gè)分析過程，得到客戶所需要的答案及結(jié)果,。也可依顧客需求,，提供完整專業(yè)的系統(tǒng)解決方案。

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