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PTR90-Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計
  • PTR90-Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計

貨物所在地:浙江杭州市

地: 德國

更新時間:2025-01-17 17:05:58

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Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(PTR90)精度高,外形小巧,,占用空間小。它們采用杰出的技術,,其真空測量能力達到很高水平,。

有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 產(chǎn)品擁有多種增強功能,可在嚴苛的應用中延長真空計的保養(yǎng)間隔,。與組合式傳感器所支持的低開啟壓力相結合,,非常適合從粗真空到高真空測量的多種應用。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計


Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(PTR90)是一款用于精確壓力測量的多功能有源傳感器,,具有以下特點

l測量范圍廣:壓力范圍從 1×10?? mbar 1000 mbar,,部分型號如 PTR 90 N 的測量范圍為 5×10?? mbar1000 mbar

l精度較高:在 1×10??1×10?2 mbar 范圍內(nèi),精度小于測量值的 30%,;在 1×10?2 10 mbar 范圍內(nèi),,精度小于測量值的 15%

l穩(wěn)定性強:采用冷陰極和燈絲皮拉尼等技術,可在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作,,減少灰塵和顆粒污染的影響

l接口豐富:有數(shù)字或模擬(RS232 485)接口可供選擇,,部分型號配備 RJ45/FCC68 連接器

l顯示直觀:配備自適應 LED 壓力指示,通過脈沖模式顯示壓力信息

l緊湊尺寸,,易于集成

l冷陰極堅固耐用 - 即裝即用

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計


PENNINGVAC PTR 90 RN:組合式冷陰極真空計

我們的組合式冷陰極真空計采用冷陰極電離的反磁控管原理,,并與皮拉尼真空計相結合。


通過將這些技術組合到一個更緊湊的傳感器中,,擴大了真空計量程,,能夠可靠測量大氣壓到 1 x 10-9的壓力。


冷陰極的開/關功能由集成式皮拉尼真空計自動控制,,無縫消除了在壓力過高情況下運行冷陰極的任何風險,,該風險可能會導致真空計使用壽命縮短。


提供模擬 0-10V 線性輸出和數(shù)字通信,。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計


行業(yè)應用


半導體行業(yè)

薄膜沉積:在半導體芯片制造過程中,,如化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等薄膜沉積工藝,,需要精確控制反應腔室中的真空度,。PTR90 可實時準確測量腔室內(nèi)的壓強,確保沉積過程在合適的真空環(huán)境下進行,,從而保證薄膜的質量和性能,,如薄膜的厚度均勻性、附著力等,。


離子注入:離子注入是半導體制造中的重要摻雜工藝,,需要高真空環(huán)境以避免雜質干擾,。PTR90 能精確監(jiān)測真空度,為離子注入設備提供準確的壓強數(shù)據(jù),,確保離子束能夠準確地注入到半導體材料中,,實現(xiàn)對半導體材料電學性能的精確控制。


真空鍍膜行業(yè)

光學鍍膜:在光學鏡片,、濾光片等光學元件的鍍膜過程中,,需要嚴格控制鍍膜腔室的真空度。PTR90 可幫助維持穩(wěn)定的真空環(huán)境,,確保鍍膜材料能夠均勻地沉積在光學元件表面,,提高鍍膜的質量和光學性能,如反射率,、透過率等,。


裝飾鍍膜:在手表帶、手機外殼等產(chǎn)品的裝飾性鍍膜中,,PTR90 可確保鍍膜過程在合適的真空度下進行,,使鍍膜層具有良好的附著力、色澤和耐腐蝕性,,提高產(chǎn)品的外觀質量和使用壽命,。


真空爐領域

金屬材料熱處理:在金屬材料的真空熱處理過程中,如真空淬火,、真空回火等,,PTR90 可實時監(jiān)測真空爐內(nèi)的壓強變化,確保爐內(nèi)處于高真空或特定的真空環(huán)境,,防止金屬材料在熱處理過程中氧化,、脫碳等,提高金屬材料的性能和質量,。


陶瓷材料燒結:對于陶瓷材料的真空燒結,,PTR90 能夠精確測量和控制燒結爐內(nèi)的真空度,有助于排除爐內(nèi)的氣體雜質,,促進陶瓷材料的致密化燒結,,提高陶瓷材料的致密度、硬度和強度等性能,。


分析儀器行業(yè)

質譜儀:在質譜分析中,,需要高真空環(huán)境來保證離子的傳輸和檢測效率。PTR90 可作為質譜儀的真空監(jiān)測部件,,實時測量離子源,、質量分析器等部位的真空度,確保儀器正常運行,,提高質譜分析的靈敏度和準確性,。


電子顯微鏡:電子顯微鏡需要在高真空環(huán)境下工作,,以避免電子束與氣體分子的相互作用。PTR90 可為電子顯微鏡提供精確的真空度測量,,確保電子槍,、樣品室等部位處于良好的真空狀態(tài),從而獲得高分辨率,、高質量的圖像,。


其他領域

航空航天:在航空航天零部件的制造和測試過程中,如真空釬焊,、真空檢漏等工藝,PTR90 可用于測量和控制真空度,,保證零部件的質量和可靠性,,滿足航空航天領域對高性能、高可靠性材料和部件的要求,。


科研實驗:在各類物理,、化學、材料等科研實驗中,,如表面科學研究,、納米材料制備、等離子體物理實驗等,,PTR90 可作為重要的真空測量工具,,幫助研究人員精確控制實驗環(huán)境的真空度,確保實驗結果的準確性和可重復性,。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計


Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計

技術參數(shù)

產(chǎn)品名稱

PTR90RN

測量范圍

1e-9 mbar,,最高 1000

精確度

小于測量值的30%,范圍為1e-8至1e-2 mbar
小于測量值的15%,,范圍為1e-2至10 mbar

供電電壓

15 至 48Vd.c.

電氣連接

RJ45/9 針 D-sub

模擬輸出 (2*L***1***)

0-10 VDC

串行輸出 (2*L***5***/2*L***0***)

RS232 或 RS485

設置點

1

繼電器觸點額定值

最大 48VDC,,500 mA

狀態(tài)指示燈

360° 明亮 LED 燈環(huán)

最大電纜長度 (m)

100

過壓限值 (bar)

10

工作溫度范圍

5至60℃

儲存溫度

-30至70℃

最高烘烤溫度(已拆下電子器件)

150℃

最大相對濕度

在不高于 31°C 溫度下,相對濕度為 80%,;在 40°C 及以上溫度,,相對濕度呈線性下降至 50%

死容積

20cm3

重量(取決于法蘭)

350g,DN 25 KF
380g,,DN 40 KF
630g,,DN 40 CF

防護等級

IP40

認證

CE、UKCA

兼容的控制器

顯示屏(一個,、三個),,GRAPHIX,TURBO.CONTROL i




產(chǎn)品選型

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計




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