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貨物所在地：浙江杭州市
更新時間：2024-09-30 11:32:31
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INFICON英福康氦質(zhì)譜檢漏儀專門為半導(dǎo)體應(yīng)用中的檢漏需求而設(shè)計,。
它具有靈活性,、移動性、快速啟動,、高靈敏度,、快速和精確的測試結(jié)果以及可靠性。
l 由于更高的空氣泵送速度,，更快的泵降（排空）時間,。
l 由于低維護的根部粗加工泵，總擁有成本（TCO）更低,。
l 由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景,，更早地開始檢漏，使得快速達(dá)到敏感測量范圍成為可能
l UL3000 Fab ULTRA還通過使用成熟的吸污管線SL3000提供了改進的吸污能力,，該吸污管線長度可達(dá)10米,。SL3000有一個單獨的連接端口，因此不需要連接到真空入口,。
快速的結(jié)果
改進后的真空系統(tǒng)帶有低維護的真空泵，可以從大氣壓開始檢測泄漏,。堅固的質(zhì)譜儀系統(tǒng)確保了長時間的運行和低維護成本。
可旋轉(zhuǎn)的顯示器和可遠(yuǎn)程控制的用戶接口
新的觸摸屏顯示,，即使在遠(yuǎn)距離也能顯示測試結(jié)果和狀態(tài)信息,。通過用戶指導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)，即使是沒有經(jīng)驗的操作員也能輕松操作,。通過智能手機或平板電腦可以對UL3000 Fab（ULTRA）進行無線控制--無需特殊軟件或Apps,。通過按鈕記錄和存儲測試結(jié)果，可以傳輸?shù)狡渌鎯橘|(zhì),，以便進一步分析,。
纖細(xì)的設(shè)計，*進的可操作性
低重心,、大輪子,、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖細(xì)的外殼使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狹小的空間也有良好的移動性。
優(yōu)勢
l 采用I-CAL軟件算法,，在10-9至10-12mbar-l/s范圍內(nèi)快速測量，節(jié)省時間
l 使用I-ZERO 2.0進行有效的檢漏,，其改進的智能功能可在保持高測量靈敏度的同時進行快速背景抑制
l 適用于真空和嗅探檢漏
l 通過快速排空和響應(yīng)時間,，最大限度地減少檢漏工作
l 纖細(xì)的設(shè)計,，易于操作，節(jié)省時間
l 堅固的離子源（3年保修）和逆流真空系統(tǒng)使總擁有成本（TCO）較低
l 逆流式真空系統(tǒng)
l 易于使用,，由操作員指導(dǎo)的人機界面,，帶有全彩高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示器
l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，使其有可能迅速達(dá)到敏感的測量范圍,，從而更早開始檢漏,。
l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間
l 根部泵的速度更快
l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低維護率,，總擁有成本（TCO）更低,。粗加工泵。
l UL3000 Fab ULTRA：通過使用久經(jīng)考驗的吸污管線SL3000,，該檢漏儀還提供了改進的吸污能力,，其長度可達(dá)10米。SL3000有一個單獨的連接端口,，因此不需要連接到真空入口,。
典型應(yīng)用
l 半導(dǎo)體工廠
l 平板顯示器制造
l 太陽能電池的制造
l 玻璃和卷材（卷對卷）鍍膜
l 一般真空鍍膜和應(yīng)用
INFICON英?？?/span>氦質(zhì)譜檢漏儀
規(guī)格
UL3000 Fab | ||
粗加工泵的最大泵送速度 | m3/h | >30 |
氦氣抽吸速度（高敏感模式ULTRA） | L/s | 4 |
尺寸（長x寬x高） | mm In. | 1050x472x987 42x21x34 |
附加功能 | 具有最高抽氣速度的羅茨干泵,，HYDRO-S，用于SL3000的獨立吸氣管口,，真空軟管支架 | |
UL3000 Fab Ultra | ||
粗加工泵的最大泵送速度 | m3/h | >36 |
氦氣抽吸速度（高敏感模式ULTRA） | L/s | 4 |
尺寸（長x寬x高） | mm In. | 1050x472x987 42x21x34 |
附加功能 | 具有最高抽氣速度的羅茨干泵,，HYDRO-S，用于SL3000的獨立吸氣管口,，真空軟管支架 | |
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