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VAT全系列真空閥門簡介：

VAT真空閥的設(shè)計適用于所有真空度,，直至高真空、超高真空和超高真空條件,。

VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的,，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外,，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性,，即使在的運行條件下也表現(xiàn)佳。

通過全面的真空隔離閥和控制閥,、氣體定量閥,、傳輸閥和排氣閥、淹沒閥以及快速關(guān)閉閥的產(chǎn)品組合,，VAT為所有應(yīng)用領(lǐng)域提供了良好的解決方案,。

技術(shù)是關(guān)鍵，為了地保證良好的真空隔離或控制功能,，VAT真空閥采用了VAT開發(fā)的不同的真空閥技術(shù),。這些技術(shù)除了確保防止顆粒物的功能外，還確保在大量的關(guān)閉和控制周期內(nèi)精確運行,。

VAT真空閘閥,、應(yīng)用廣泛的真空角閥以及蝶式真空閥、擺式真空閥或全金屬真空閥因此為所有領(lǐng)域的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn),。

VAT全系列真空閥門分類：

真空控制閥:

真空閘閥：

真空角閥/內(nèi)聯(lián)閥/氣缸閥：

真空蝶閥：

真空擺閥：

泄壓/排氣閥：

氣體計量閥：

真空止回閥：

真空全金屬閥：

真空傳輸閥：

真空多閥裝置：

不同類型閥的特點計應(yīng)用:

真空閘閥 – 通常是隔離或較簡單的控制應(yīng)用的理想選擇,。安裝深度很窄，傳導(dǎo)性最大（流阻最?。?，但閘門的行程空間需要。這些也可以采取真空狹縫閥,、真空傳輸閥或真空門的形式,，產(chǎn)品通過這些閥門被引入真空工藝室。

真空角閥 – 通用的一般用途真空閥,。尺寸非常緊湊,，通常在密封、執(zhí)行器和傳感器方面非常模塊化,。平均電導(dǎo)率,，非常容易維護。非常好,，如果需要的話，有非常精確的可控性,。

真空蝶閥 – 主要用于控制應(yīng)用,。非常窄的安裝深度,，良好的傳導(dǎo)性，快速和精確的可控性,。

真空擺閥 – 非常窄的安裝深度和緊湊的尺寸,，結(jié)合非常精確的控制行為,，非常好的絕緣能力和非常高的傳導(dǎo)性。

對稱流真空調(diào)節(jié)閥 – 特殊類型,，優(yōu)化了從第一個開口到整個閥門開口的非常均勻的流動行為,。

氣體計量閥或漏氣閥 – 特別是對于非常精細(xì)的計量，例如,，低流量的工藝氣體的計量,。

泄壓閥或排氣閥 – 安全閥允許真空系統(tǒng)有控制地，通常是通風(fēng),，并防止超過規(guī)定的壓力條件,。

真空止回閥 –被動式,，體積流量和壓差操作的閥門,。通常用于保護真空系統(tǒng)免受倒流污染,。例如，用于真空回流泵和真空系統(tǒng)之間,。

快速閉合閥 – 主動式保護閥,，通常保護較大的真空體積或真空室不因泄漏而造成真空損失。主要特點：對檢測到的壓力下降有非?？斓年P(guān)閉反應(yīng),。在UHV和XHV應(yīng)用中,，通常由扇形真空閥（通常是真空閘閥）支持,，以確保即使在非常高的壓差下也能實現(xiàn)密封隔離。

真空全金屬閥 – 專為壓力,、溫度和輻射條件設(shè)計的一組真空閥,。主要特點：硬對硬（金屬對金屬）的密封，而不是彈性密封,，因為彈性密封無法承受服務(wù)條件,。

真空多閥裝置 – 特殊類型的真空閥，將幾種真空閥的功能結(jié)合在一個單元中,。主要特點：減少部件數(shù)量,，裝配速度快。通常是根據(jù)客戶要求定制,。

3位真空閥 – 真空隔離閥的特殊形式,，其中除了關(guān)閉和打開的位置外，還可以定義第三個閥位,。例如,，一種應(yīng)用是為了避免在高壓差時由于閥門打開過快而產(chǎn)生的壓力脈沖。 在第三個位置,，密封圈上的接觸壓力在短時間內(nèi)略微降低,，而閥門卻沒有明顯的打開，從而使壓力變化更加平穩(wěn),。

除了這些基本類型,，還有大量的混合變體，其中一些結(jié)合了不同的閥門技術(shù)或為某些特殊要求提供解決方案,。

什么是高性能真空閥,？

某些真空工藝對工藝環(huán)境的純度以及化學(xué)和物理穩(wěn)定性有特別高的要求。例如,，這適用于幾乎所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,，以及許多使用真空系統(tǒng)的研究設(shè)施,。在基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，處理條件的能力,，如非常高或低的溫度,、強輻射和壓力高達10-15mbar的高真空（XHV）--目前技術(shù)上可行和可測量的極限--常常被添加到這些要求中。

這些應(yīng)用中的真空閥在以下方面與標(biāo)準(zhǔn)真空閥不同:

最小化的顆粒排放

高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,，不會通過其外殼,、機械裝置或密封件的材料放出顆粒，也不會通過其開閉或控制運動的摩擦放出顆粒,。這是通過對所用材料的特殊選擇和處理,，以及通過某些設(shè)計細(xì)節(jié)來實現(xiàn)的，這些細(xì)節(jié)可以最大限度地減少或在某些情況下消除粒子的釋放,。

最小化的運動脈沖

每一個閥門通過其開啟和關(guān)閉運動產(chǎn)生運動脈沖,。在自動驅(qū)動閥門的情況下，這些脈沖的范圍可以從輕微的振動到可以聽到和感知的硬沖擊,。這些運動脈沖可能會對敏感的制造工藝產(chǎn)生負(fù)面影響,，例如，通過額外的顆粒釋放,。除了設(shè)計特點外,，高性能真空閥主要通過控制所謂的運動曲線來減少這些脈沖。與乘客電梯的運行方式類似,，在到達關(guān)閉點前不久,，關(guān)閉速度會減慢，以防止 "撞擊",。這些運動曲線通?？梢员恍薷模?，在關(guān)閉時間和關(guān)閉頻率方面,，它們可以適應(yīng)所需條件。

中性化學(xué)和物理行為

真空閥總是改變真空工藝室的均勻性,，無論其形式如何,。這種情況的發(fā)生，部分是由于其幾何形狀的結(jié)果,。流動路徑的變窄或變寬可以改變流動阻力和流動速度,，或者死角，如閥板的移動空間,，可以促進沉積過程,。這也是通過開啟和關(guān)閉運動發(fā)生的，它改變了流動行為以及工藝氣體的濃度,、分布,、混合和溫度,。高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，盡可能地補償這種影響,，或使其可控,。為此，在設(shè)計中加入了各種額外的技術(shù),，這些技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了閥門的基本功能,，如開啟和關(guān)閉或控制。

精確的可重復(fù)的行為

高性能真空閥與標(biāo)準(zhǔn)溶液的區(qū)別主要在于其高度可重復(fù)的行為,。這意味著,，雖然標(biāo)準(zhǔn)解決方案在每個單獨的打開和關(guān)閉運動中表現(xiàn)出波動，并在使用期間顯示出對其定義的性能值的偏差,，但高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,，在長時間的使用中始終表現(xiàn)出相同的行為，定義在非常窄的范圍內(nèi),。這意味著它們能夠穩(wěn)定真空過程,，并將過程控制的復(fù)雜性降到zuidi。

真空閥的類型有哪些,？

真空閥和其他閥門一樣，使用一些基本的力學(xué)原理,，如閘閥,、擋板盤或旋轉(zhuǎn)盤來分離或隔離真空區(qū)域并控制體積流量。然而,，使用這些力學(xué)原理的基本條件是wanquan不同的,。例如，高自由度的顆粒,、精確控制非常小的體積流動,、密封、最小的振動和沖擊是至關(guān)重要的特性,。因此,，這些基本的機械裝置通常為真空閥設(shè)計得不同。例如,，關(guān)閉機構(gòu)通常被設(shè)計為無摩擦地關(guān)閉,，并引起最小的振動和沖擊，如果有的話,。此外,，控制運動可以是極其精細(xì)的劑量，密封被優(yōu)化,，以便在理想情況下不釋放任何顆粒,，其靜態(tài)或動態(tài)特性在長期使用中保持穩(wěn)定,。