目錄:杭州域勢科技有限公司>>PRECESS普瑞賽思>>普瑞賽思真空閥門>> V72系列PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥
| 外形尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mmmm | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
|---|
PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）
V72全加熱傳輸閥適用于蝕刻或化學(xué)氣相沉積等腐蝕性工藝,，采用單軸氣動執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)閘板的L型運(yùn)動技術(shù)，加熱功能可使閘板或閥體上的化學(xué)物質(zhì)氣化。在L型運(yùn)動中,，閘板垂直移動至關(guān)閉位置——與閥體無任何接觸——在最后階段,，閘板水平推向閘座，密封件以與連接氣壓相關(guān)的固定力接觸閘座,。這不僅避免了任何摩擦以及由此可能產(chǎn)生的顆粒,，還最大限度地減少了密封件的磨損。
為了最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和活化,，閘板配備了嵌入式O型圈密封,，也可選擇硫化密封。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠,、更耐用的密封解決方案,，不過也可選擇標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封。軸貫穿處采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封,。
在停電情況下，V72可機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置,。
V72系列已經(jīng)在各種半導(dǎo)體,、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)工藝中的數(shù)百個苛刻應(yīng)用中安裝使用，證明了其優(yōu)秀的可靠性,。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及維護(hù)量少且易于維護(hù)的特點(diǎn),，V72系列在各方面都令人信服。
V72全加熱傳輸閥總是根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行定制,。盡管如此,，仍預(yù)定義了四種基本設(shè)計(jì)類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型，以及兩種帶有內(nèi)部腔室閥座或外部腔室閥座的嵌件類型,。
閥體材料可選擇鋁,、硬質(zhì)陽極氧化處理鋁、鍍鎳鋁或不銹鋼,。閘板和閥蓋密封件采用氟橡膠（FKM）或全氟橡膠（FFKM）材質(zhì),。其他密封材料可根據(jù)要求提供。
特點(diǎn)：
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（符合半導(dǎo)體制程標(biāo)準(zhǔn)半E21- 94,、半E24-92,、半E21.1-1296）
l低振動。獲得認(rèn)證的L型運(yùn)動連桿以及執(zhí)行器中無彈簧的雙位移設(shè)計(jì),，可使氣動執(zhí)行器的驅(qū)動速度更快,、更平穩(wěn) ·
l在關(guān)閉位置可進(jìn)行機(jī)械鎖定
優(yōu)勢：
l焊接波紋管式執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定裝置，可防止在拆卸時螺栓掉落
應(yīng)用：
l半導(dǎo)體加工
l等離子體蝕刻,、CVD,、濺射沉積
l太陽能電池板的制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群真空系統(tǒng)
PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mm | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 鋁或不銹鋼 | |
進(jìn)料 | 波紋管 | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | On the Gate | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥200萬次 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 180 °C |
閥門 | ≤ 150 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FFKM Zalak 5100 |
閥門 | FFKM Zalak 5100 | |
安裝位置 | 執(zhí)行器上方或下方 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應(yīng)要求） | |
位置指示器：觸點(diǎn)額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D口 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 6 mm |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
2
化工儀器網(wǎng)