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目錄:杭州域勢科技有限公司>>PRECESS普瑞賽思>>普瑞賽思真空閥門>> V70四開口PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
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參考價(jià) 30000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
30000
≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 域勢科技
  • 型號(hào) V70四開口
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 杭州市
屬性

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更新時(shí)間:2025-04-14 16:14:32瀏覽次數(shù):153評(píng)價(jià)

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外形尺寸 46 x 236 mm,50 x 336 mm,。mm 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,電氣
PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列L型四開口)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離,。適用于腐蝕性工藝,,如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列L型四開口

V70系列四開口傳輸閥適用于腐蝕性工藝,,如蝕刻或CVD,,通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)閘門L形運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在L形運(yùn)動(dòng)中,,閘門垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置,,與閥體沒有任何接觸,在最后的運(yùn)動(dòng)中,,它被水平推到閥座上,,密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生,,還最大限度地減少了密封磨損,。


為了盡量減少顆粒的產(chǎn)生和活化,閘門配備了插入式O型圈密封,,硫化密封是一種選擇,。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案,,盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的,。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。


在電源故障的情況下,,V70可以機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置,。


V70系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個(gè)要求苛刻的應(yīng)用中,,證明了其出色的可靠性,。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及減少和易于維護(hù),V70系列在各個(gè)方面都令人信服,。


V70四開傳輸閥始終根據(jù)客戶規(guī)格量身定制,。然而,預(yù)定義了四種基本設(shè)計(jì)類型:兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型,。


閥體材料選項(xiàng)包括鋁,、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼,。閘門和閥蓋密封采用FKMFFKM,。其他密封材料可應(yīng)要求提供,。


點(diǎn)

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(半E21-94E24-92E21.1-1296

l低振動(dòng)。獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動(dòng)連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實(shí)現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動(dòng)執(zhí)行器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置


優(yōu)點(diǎn):

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定器,,以防止拆卸時(shí)螺栓脫落


應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻,、CVD,、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)


PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列L型四開口

技術(shù)參數(shù)

尺寸


46 x 236 mm, 50 x 336 mm

執(zhí)行器

氣動(dòng)

雙作用位置指示器

閥體材質(zhì)


鋁或不銹鋼

進(jìn)料


波紋管

泄漏率

閥體

< 1 × 10-9 mbar l/s

閥座

< 1 × 10-9 mbar l/s

硬質(zhì)陽極氧化

< 1 × 10-6 mbar l/s

壓力范圍


1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

壓差

On the Gate

≤ 1.2bar

At opening

< 30mbar

循環(huán)至first使用


≥300萬

溫度

閥體

≤ 120 °C

閥門

≤ 120 °C

材質(zhì)

閥體,、板

EN AW-6061 (3.3211)

AlSI 304 (1.4301)

波紋管

AISI 633(AM350)

密封

閥帽

FKM(Viton®)或應(yīng)要求

閥門

FKM(Viton®)或應(yīng)要求

安裝位置


執(zhí)行器上方或

電磁閥


24 VDC,2.5 W(其他應(yīng)要求)

位置指示器


觸點(diǎn)額定電壓≤50 VDC

電流

0-80 mA

功率

≤ 10 W

連接器

9針微型D

壓縮空氣連接


快速連接器O.D. 6 mm



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