目錄:杭州域勢科技有限公司>>Leybold萊寶>>Leybold萊寶真空計>> PTR90Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計
| 測量原理 | 冷陰極和熱陰極（燈絲）相結合 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 量程 | 5×10?? 到1000mbar |
| 應用領域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥 | 真空接口 | DN 25 ISO-KF |
有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 產(chǎn)品擁有多種增強功能,，可在嚴苛的應用中延長真空計的保養(yǎng)間隔,。與組合式傳感器所支持的低開啟壓力相結合，非常適合從粗真空到高真空測量的多種應用,。
Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計（PTR90）是一款用于精確壓力測量的多功能有源傳感器,，具有以下特點：
l測量范圍廣：壓力范圍從 1×10?? mbar 到 1000 mbar，部分型號如 PTR 90 N 的測量范圍為 5×10?? mbar到1000 mbar
l精度較高：在 1×10??至 1×10?2 mbar 范圍內(nèi),，精度小于測量值的 30%,；在 1×10?2 至 10 mbar 范圍內(nèi)，精度小于測量值的 15%
l穩(wěn)定性強：采用冷陰極和燈絲皮拉尼等技術,，可在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作,，減少灰塵和顆粒污染的影響
l接口豐富：有數(shù)字或模擬（RS232 或 485）接口可供選擇，部分型號配備 RJ45/FCC68 連接器
l顯示直觀：配備自適應 LED 壓力指示,，通過脈沖模式顯示壓力信息
l緊湊尺寸,，易于集成
l冷陰極堅固耐用 - 即裝即用
PENNINGVAC PTR 90 RN：組合式冷陰極真空計
我們的組合式冷陰極真空計采用冷陰極電離的反磁控管原理，并與皮拉尼真空計相結合,。
通過將這些技術組合到一個更緊湊的傳感器中,，擴大了真空計量程，能夠可靠測量大氣壓到 1 x 10-9的壓力,。
冷陰極的開/關功能由集成式皮拉尼真空計自動控制,，無縫消除了在壓力過高情況下運行冷陰極的任何風險，該風險可能會導致真空計使用壽命縮短,。
提供模擬 0-10V 線性輸出和數(shù)字通信,。
行業(yè)應用
半導體行業(yè)
薄膜沉積：在半導體芯片制造過程中，如化學氣相沉積（CVD）,、物理氣相沉積（PVD）等薄膜沉積工藝,，需要精確控制反應腔室中的真空度。PTR90 可實時準確測量腔室內(nèi)的壓強,，確保沉積過程在合適的真空環(huán)境下進行,，從而保證薄膜的質(zhì)量和性能，如薄膜的厚度均勻性,、附著力等,。
離子注入：離子注入是半導體制造中的重要摻雜工藝,，需要高真空環(huán)境以避免雜質(zhì)干擾。PTR90 能精確監(jiān)測真空度,，為離子注入設備提供準確的壓強數(shù)據(jù),，確保離子束能夠準確地注入到半導體材料中，實現(xiàn)對半導體材料電學性能的精確控制,。
真空鍍膜行業(yè)
光學鍍膜：在光學鏡片,、濾光片等光學元件的鍍膜過程中，需要嚴格控制鍍膜腔室的真空度,。PTR90 可幫助維持穩(wěn)定的真空環(huán)境,，確保鍍膜材料能夠均勻地沉積在光學元件表面，提高鍍膜的質(zhì)量和光學性能,，如反射率,、透過率等。
裝飾鍍膜：在手表帶,、手機外殼等產(chǎn)品的裝飾性鍍膜中,，PTR90 可確保鍍膜過程在合適的真空度下進行，使鍍膜層具有良好的附著力,、色澤和耐腐蝕性,，提高產(chǎn)品的外觀質(zhì)量和使用壽命。
真空爐領域
金屬材料熱處理：在金屬材料的真空熱處理過程中,，如真空淬火,、真空回火等，PTR90 可實時監(jiān)測真空爐內(nèi)的壓強變化,，確保爐內(nèi)處于高真空或特定的真空環(huán)境,，防止金屬材料在熱處理過程中氧化、脫碳等,，提高金屬材料的性能和質(zhì)量,。
陶瓷材料燒結：對于陶瓷材料的真空燒結，PTR90 能夠精確測量和控制燒結爐內(nèi)的真空度,，有助于排除爐內(nèi)的氣體雜質(zhì),，促進陶瓷材料的致密化燒結，提高陶瓷材料的致密度,、硬度和強度等性能,。
分析儀器行業(yè)
質(zhì)譜儀：在質(zhì)譜分析中，需要高真空環(huán)境來保證離子的傳輸和檢測效率,。PTR90 可作為質(zhì)譜儀的真空監(jiān)測部件,，實時測量離子源、質(zhì)量分析器等部位的真空度,，確保儀器正常運行,，提高質(zhì)譜分析的靈敏度和準確性,。
電子顯微鏡：電子顯微鏡需要在高真空環(huán)境下工作，以避免電子束與氣體分子的相互作用,。PTR90 可為電子顯微鏡提供精確的真空度測量,，確保電子槍、樣品室等部位處于良好的真空狀態(tài),，從而獲得高分辨率,、高質(zhì)量的圖像。
其他領域
航空航天：在航空航天零部件的制造和測試過程中,，如真空釬焊、真空檢漏等工藝,，PTR90 可用于測量和控制真空度,，保證零部件的質(zhì)量和可靠性，滿足航空航天領域?qū)Ω咝阅?、高可靠性材料和部件的要求?/span>
科研實驗：在各類物理,、化學、材料等科研實驗中,，如表面科學研究,、納米材料制備、等離子體物理實驗等,，PTR90 可作為重要的真空測量工具,，幫助研究人員精確控制實驗環(huán)境的真空度，確保實驗結果的準確性和可重復性,。
Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計
技術參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | PTR90RN |
測量范圍 | 1e-9 mbar,，最高 1000 |
精確度 | 小于測量值的30%，范圍為1e-8至1e-2 mbar |
供電電壓 | 15 至 48Vd.c. |
電氣連接 | RJ45/9 針 D-sub |
模擬輸出 (2*L***1***) | 0-10 VDC |
串行輸出 (2*L***5***/2*L***0***) | RS232 或 RS485 |
設置點 | 1 |
繼電器觸點額定值 | 最大 48VDC,，500 mA |
狀態(tài)指示燈 | 360° 明亮 LED 燈環(huán) |
最大電纜長度 (m) | 100 |
過壓限值 (bar) | 10 |
工作溫度范圍 | 5至60℃ |
儲存溫度 | -30至70℃ |
最高烘烤溫度（已拆下電子器件） | 150℃ |
最大相對濕度 | 在不高于 31°C 溫度下，相對濕度為 80%,；在 40°C 及以上溫度,，相對濕度呈線性下降至 50% |
死容積 | 20cm3 |
重量（取決于法蘭） | 350g，DN 25 KF |
防護等級 | IP40 |
認證 | CE、UKCA |
兼容的控制器 | 顯示屏（一個,、三個）,，GRAPHIX，TURBO.CONTROL i |
產(chǎn)品選型
2
化工儀器網(wǎng)