真空計的工作原理多樣，常見的有以下幾種：
熱傳導(dǎo)真空計
l原理：氣體的熱傳導(dǎo)與氣體分子密度有關(guān),，在低壓力下,，氣體分子間的碰撞頻率降低，熱傳導(dǎo)能力隨壓力降低而減小,。通過測量加熱絲與周圍氣體之間的熱傳導(dǎo)來間接測量氣體壓力,。
l舉例：熱偶真空計，利用加熱絲和熱電偶組成測量電路,，加熱絲通電發(fā)熱,，熱電偶測量加熱絲的溫度，當氣體壓力變化時,，熱傳導(dǎo)情況改變,，導(dǎo)致加熱絲溫度變化，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢也隨之變化,，通過測量熱電勢來確定氣體壓力,。
電離真空計
l原理：在高真空環(huán)境下，利用電子碰撞氣體分子使其電離，產(chǎn)生的離子電流與氣體分子密度成正比,，而氣體分子密度又與壓力相關(guān),，從而通過測量離子電流來確定氣體壓力。
l舉例：熱陰極電離真空計,，由陰極,、柵極和收集極組成。陰極發(fā)射電子,，電子在電場作用下加速飛向柵極,，與氣體分子碰撞使氣體電離，產(chǎn)生的正離子被收集極收集形成離子電流,，通過測量離子電流大小來計算氣體壓力,。
電容薄膜真空計
l原理：基于電容原理，將被測壓力作用在一個具有彈性的薄膜上,，使薄膜產(chǎn)生變形,，從而改變電容器兩極板間的距離或面積，導(dǎo)致電容值發(fā)生變化,，通過測量電容的變化量來反映壓力的大小,。
l舉例：以平行板電容結(jié)構(gòu)為例，當壓力作用于薄膜時,，薄膜向一側(cè)彎曲,，使平行板電容器的極板間距變小或極板重疊面積改變，電容值隨之變化,，通過電容測量電路將電容變化轉(zhuǎn)換為電信號輸出,，進而得到壓力值。
電阻真空計
l原理：利用金屬絲或半導(dǎo)體等材料的電阻值隨溫度變化的特性,，以及氣體熱傳導(dǎo)對加熱元件溫度的影響,。當氣體壓力變化時，氣體與加熱元件之間的熱交換情況改變,，導(dǎo)致加熱元件溫度變化,，進而使其電阻值發(fā)生變化，通過測量電阻值來間接測量氣體壓力,。
l舉例：鎢絲電阻真空計,，以鎢絲作為加熱元件和感壓元件，當給鎢絲通電加熱后,，其電阻值會隨溫度變化,。在不同的氣體壓力下，鎢絲與周圍氣體的熱交換不同,，溫度不同,，電阻值也不同,，通過測量鎢絲電阻值的變化來確定氣體壓力。
麥克勞真空計
l原理：基于波義耳定律,，即一定質(zhì)量的氣體,，在溫度不變的情況下，其壓力與體積成反比,。通過對一定量的被測氣體進行壓縮，使其壓力升高,，然后與已知壓力的氣體進行比較,，從而確定被測氣體的壓力。
l舉例：通過轉(zhuǎn)動三通活塞,，使真空系統(tǒng)中的氣體進入麥克勞真空計的玻璃球泡和毛細管中,，然后將水銀面升高，壓縮氣體,。當毛細管中的水銀面與比較毛細管中的水銀面齊平時,，根據(jù)壓縮后氣體的體積和已知的玻璃球泡及毛細管的容積，利用波義耳定律計算出被測氣體的壓力,。
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