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玻璃涂層在于修改其光學(xué)特性,，提升其太陽能傳遞特征或者改變其外觀,。無論是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂層工藝要求嚴(yán)格,。

為達(dá)到薄膜涂層優(yōu)化品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),，工藝氣系統(tǒng)須能提供高品質(zhì)的涂層一致性。大規(guī)模涂層設(shè)備使用中如何簡化維護也是重要的關(guān)注點,。Bronkhorst了解玻璃涂層工業(yè)的需求,，開發(fā)了成熟的方案用以滿足大規(guī)模玻璃涂層應(yīng)用的要求。

應(yīng)用要求

高品質(zhì)涂層的一致性,、高效,、低成本是玻璃涂層行業(yè)的其中幾項要求。通過控制具體工藝氣體,，改善薄膜一致性,。另外，如果控制是通過可獲得穩(wěn)定流形的儀表完成,，重復(fù)性,、快速響應(yīng)以及優(yōu)化性能就可達(dá)成。

為了降低成本,，儀表應(yīng)當(dāng)可靠,、耐用，24小時/7天不間斷工作,。

重要議題

l 重復(fù)性

l 響應(yīng)時間

l 可靠性

l 緊湊型,，節(jié)省空間

工藝方案

通過準(zhǔn)確氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積（PVD）工藝，其在高壓加速下將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上,。作用是使某些有特殊性能（強度高,、耐磨性、散熱性,、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上,，使母體具有更好的性能。

噴濺的原子被推進到母體上,，在其表面形成薄膜涂層,。

工藝要求使用惰性氣體：常用氬氣，但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中,，這種情況下,，惰性噴濺氣體需加入氧氣、氮氣。

根據(jù)其特性,，該工藝要求低壓,，但是工藝氣體流量需足夠離子轟擊發(fā)生，否則不可能保持等離子,。因此,，工藝氣體須精細(xì)控制，不然產(chǎn)品品質(zhì)以及同質(zhì)性的涂層將大打折扣,。

帶比例電磁控制閥,，Bronkhorst質(zhì)量流量控制器是這一應(yīng)用的理想選擇，可同時實現(xiàn)超快,、平穩(wěn)控制,，優(yōu)化穩(wěn)定性和重復(fù)性。

杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量,、壓力,、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT,、瑞士Vogtlin,、美國MKS、日本EBARA等品牌,，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝,、推動客戶科研及創(chuàng)新進度,。