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貨物所在地：廣東深圳市
所在地： 美國
更新時間：2024-07-29 09:13:42
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CIS 系列封閉式離子源分析儀
憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包,，CIS 系統(tǒng)將滿足您*苛刻的應(yīng)用,。在線過程監(jiān)測和控制、在使用點驗證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)*不可少的一些領(lǐng)域,。
緊湊型設(shè)計
該探頭由一個四極質(zhì)譜儀和一個安裝在 2.75" Conflat ® Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成,。控制單元直接安裝在探頭的饋通法蘭上,，并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備,。CIS 接頭的側(cè)面端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測器保持在高真空狀態(tài)的差動泵系統(tǒng)連接,。該系統(tǒng)可以通過其標準 CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到工藝室,。該裝置是自對準的，具有簡單,、堅固的設(shè)計,。您可以清潔和重新組裝探頭,，并在現(xiàn)場更換燈絲和電子倍增器,，而無需致電工廠,。
鍍金離子發(fā)生器
整個離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號,，提高了長期穩(wěn)定性，并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時進行操作,。使用鎢絲，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體,，并延長使用壽命。電離器的封閉（氣密）設(shè)計可防止常見的干擾物質(zhì)回流到電離體積中,。這會產(chǎn)生沒有光譜重疊的峰。
探測器的選擇
CIS 系列分析儀標配法拉第杯檢測器（10 ppm 檢測）和連續(xù)打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測）,。該軟件允許您在檢測器之間輕松切換,。
多功能性
CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式",。在這種模式下,，裝置具有較低的*小可檢測分壓，但也具有較低的*大工作壓力,。例如,，RGA 模式用于濺射工藝的**階段，此時腔室被抽空至低壓,，并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式,，以便在較高壓力下直接采樣,。
*全可編程性
提供標準 RS-232 接口以及完整的編程參考,。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù),，并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序,。
視窗軟件
CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量,。該程序是*全交互式的,，使用戶可以*全控制圖形顯示?？刹鸱制聊贿M行雙模式操作,，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動或自動縮放,。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù),，或按給定時間間隔計劃采集數(shù)據(jù)，以進行長期數(shù)據(jù)記錄,。功能包括用戶可選擇的單位（ppm,、Torr,、mbar、Pa 和 A）,、可編程的音頻和視頻警報以及全*的在線幫助,。該軟件允許通過簡單的質(zhì)量標度調(diào)整、靈敏度校準,、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制,。為了進一步分析，數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存,，以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰?。圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護,，使臨時用戶無法更改重要設(shè)置,。
可選的獨立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。
多頭操作
當(dāng)需要多個 CIS 時,，該軟件支持多頭操作,。該軟件*多可監(jiān)控 8 個 ECU。
泵送要求
CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9 Torr的抽吸系統(tǒng),。連接端口是一個 2.75" Conflat ® 法蘭,。選項 O100TDP 提供一個渦輪泵，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 泵頭上,。訂購此選項時,，整個分析儀都在工廠組裝、測試和校準,。用戶可以提供自己的泵站,；但是，用戶有責(zé)任確保泵系統(tǒng)不會損壞或限制儀器的性能,。
經(jīng)濟實惠的性能
SRS CIS 系統(tǒng)以競爭模型的一小部分成本提供*先進的性能,。標準系統(tǒng)包括法拉第杯探測器、電子倍增器探測器和 Windows 軟件,。選項包括用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊,，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。
獨聯(lián)體尺寸圖
| 獨聯(lián)體參數(shù) | 范圍 | 獨聯(lián)體模式 | RGA模式 |
| 電子發(fā)射電流 (mA) | 0到1 | 0.05 | 0.5 |
| 電子能量 (eV) | 25 至 105 | 70 或 35 | 70 |
| 離子能量 (eV) | 4 或 8 | 4 或 8 | 4 或 8 |
| 提取電壓 (V) | 0 到 -150 | -50（典型值） | -50（典型值） |
| 靈敏度 (A/Torr) （對于 N 2 @28 amu） | 10 -6 | 10 -5 | |
| 線性范圍上限 (Torr) | 2×10 -3 | 10 -4 | |
| MDPP (托) | 10 -8 | 10 -9 |
筆記
1. CIS 測試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進行,，由隔膜泵支持,，連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報告的 RGA 模式靈敏度是針對低于 10 -5 Torr的 N 2
計算得出的,。 3. CIS 模式靈敏度是針對 N 2在 1 至 5 × 10 -4 Torr 下計算的,。4. MDPP（*小可檢測分壓）通過在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測量法拉第杯檢測的基線水平來確定
托（CIS 模式）。當(dāng)電子倍增器打開時,，可檢測性可提高多達 3 個數(shù)量級,。
CIS 系列規(guī)格 | |
操作 | |
| 質(zhì)量范圍 | |
| CIS100 | 1 到 100 amu |
| CIS200 | 1 到 200 amu |
| CIS300 | 1 至 300 amu |
| 質(zhì)量過濾器類型 | 四極桿 |
| 探測器類型 | 法拉第杯和電子倍增器 |
| 解析度 | 優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據(jù) AVS 標準 2.3）,。在整個質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。 |
| *大限度,。工作溫度 | 70℃ |
| 烘烤溫度 | 300 °C（不帶 ECU） |
離子發(fā)生器 | |
| 設(shè)計 | 封閉離子源,，圓柱對稱，電子碰撞電離 |
| 材料 | 鍍金 SS304 |
| 燈絲 | 鎢或 ThO 2 /Ir 帶固件保護（現(xiàn)場可更換） |
| 電子能量 | 25 至 105 eV,，可編程 |
| 離子能量 | 4 或 8 eV,，可編程 |
| 聚焦電壓 | 0 至 150 V，可編程 |
| 電子發(fā)射電流 | 0 至 1 mA,，可編程 |
一般的 | |
| 探頭安裝法蘭 | 2.75" CF |
| ECU尺寸 | 4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL),。可輕松與探頭分離以進行烘烤,。 |
| LED指示燈 | 電源開/關(guān),、燈絲開/關(guān)、電子倍增器開/關(guān),、 |
| 熱身時間 | 3 分鐘后峰高 ±2 %,。30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu。 |
| 電腦接口 | RS-232C,，28,800 波特,，帶上等命令集 |
| 軟件 | 基于 Windows 的應(yīng)用程序 |
| 電力需求 | 24 VDC @ 2.5 安培。公頭 DB9 連接器,，可選內(nèi)置電源模塊,，用于交流線路操作 |
| 重量 | 6 磅。 |
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