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實時膜厚檢測儀返回列表頁

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產(chǎn)品型號LEM-CT-670-G50

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更新時間：2023-07-27 13:05:44瀏覽次數(shù)：796次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別進口應用領域建材,電子,汽車,電氣概要實時的干涉測量設備,，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測,。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,，使用干涉測量法,。通過循環(huán),，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測,?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,，并且可用于復雜的多層薄膜,。

詳情介紹

概要

實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測,。單色光打在樣品表面,，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法,。通過循環(huán),，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測,?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,，并且可用于復雜的多層薄膜,。