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低溫磁控型

1.顯示操作面為30°斜面,，充分考慮操作的便捷和視覺體驗,，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管,，美觀耐用,；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識；

4.真空泵抽速快,，噪音低,，適合實驗室使用；

5.控制電路為控制板,，工作穩(wěn)定可靠,；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便,；

7.結(jié)構(gòu)簡單可靠,，布局合理，維修操作空間大,；

8.自動真空的進排氣,，關(guān)機自動放棄（標(biāo)準(zhǔn)版手動放氣）

9.優(yōu)化機型外觀，整潔大方,，體積靈巧,；

10.數(shù)字方式定時，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié),；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭,；

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，更換樣品方便快捷,；

13.采用定制“凹"密封,，更加方便操作；

14.增大樣品處理室空間,，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體,；

15.定制型真空泵排氣過濾器；

16.獨立式升降樣品臺組件（標(biāo)準(zhǔn)為2支柱緊固型）,；

17.石英處理室：Φ150mm,高度110mm;

18. 濺射類型： 冷陰極磁控型二級濺射,；

19.樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選；可升降和手動旋轉(zhuǎn)

20.樣品更換：升降式上翻蓋結(jié)構(gòu),，上蓋打開可獨立支撐

21.靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）;

22.真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S,；

23.真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表,，靈敏可靠,；

24. 真空保護：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；

25.真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）,；