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技術(shù)規(guī)格：

樣品倉尺寸：   120 x 120mm（高）   (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)

樣品臺：可放置12 個標準 SEM 樣品座,，高度可在   60mm 內(nèi)調(diào)節(jié)

濺鍍優(yōu)點：基于微處理器反饋控制,，遠程電流/電壓感應(yīng)；提供真空安全聯(lián)鎖裝置,，最大180A,，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖,，可調(diào),，電流40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管,，靶材更換快速,，環(huán)繞暗區(qū)護罩

模擬計量：真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監(jiān)測器：   MTM-10 高精度厚度監(jiān)測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序,，帶有“暫停"控制的數(shù)字定時器（0－300s）,，自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統(tǒng))