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氣動主動微振動控制系統(tǒng)“α系列"特許機器株式會社可以支持從3點到多點,！根據(jù)設(shè)備規(guī)格和要求量身定制的微振動控制技術(shù)
“α系列"是一款氣動主動微振動控制系統(tǒng)，匯集了微振動控制技術(shù)的精華,。
半導(dǎo)體和液晶變得越來越精細(xì)，為了提高生產(chǎn)效率,，
向著更高精度和更快的速度轉(zhuǎn)變,，這就
需要能夠快速消除大的直動擾動的技術(shù)。該產(chǎn)品滿足了這些市場需求,，具有
優(yōu)異的隔振性能,、控制性能和恢復(fù)性能,。
[特點] ■優(yōu)異的隔振性能■穩(wěn)定時間快,，位置控制準(zhǔn)確■高耐用性*詳情請參閱PDF文檔或隨時聯(lián)系我們,。
基本信息氣動主動微振動控制系統(tǒng)“α系列"
[氣動控制的特點]
■低范圍隔振性優(yōu)異
■易于承受靜載荷
■易于控制位置姿勢
■大行程
■無蠕變
■無發(fā)熱
■無磁通泄漏
*詳情請參閱PDF文件請查看或隨時與我們聯(lián)系。
