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簡(jiǎn)單的齒輪齒條驅(qū)動(dòng)提供了*的可靠性,。 在真空閥中,，孔的電導(dǎo)性能*,。
01. 由于閥門開度可在 0 度 ~ 45 度和 90 度（全開）兩個(gè)位置作,， 單個(gè)閥可用于慢速排氣和高速排氣,。
02. 除了通常的全閉（Fully Closed）和全開（Fully open）氣缸外， 兩級(jí)氣缸,，閥開度可在 0 度 ~ 45 度范圍內(nèi)任意設(shè)定 結(jié)構(gòu),。
03.氣缸雖然小，但打開時(shí)推力加倍（運(yùn)行可靠）,，行程結(jié)束時(shí)具有氣墊效果（減震）,。
04. 關(guān)閉時(shí)，閥體密封,。
05. 對(duì)安裝姿勢(shì)或安裝方向沒有限制,。
06. 表面空間薄，電導(dǎo)性能優(yōu)異,。
07. 在無塵室中組裝和檢查,。
| 法蘭格式 | JIS、ISO,、KF（NW）,、CF |
|---|---|
| 口徑 | 25A ~ 350A |
| 泄漏量 | 1×10-9 帕米3/s 或更低 |
| 使用區(qū)域 | 105~10-5 帕 |
| 氣體接觸材料 | SUS304型 |
| 盤式密封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 軸封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 工作氣壓 | 0.4~0.6 MPaG |
| 開/關(guān)指示 | 帶微動(dòng)開關(guān)（用于打開/關(guān)閉每個(gè)位置的檢測(cè)） |
* 也可制造特殊規(guī)格。
* 此規(guī)格如有更改,，恕不另行通知,。
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