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輕型緊湊型
高速檢查
高靈敏度
用于系統(tǒng)集成
空氣泄漏測(cè)試無(wú)法檢測(cè)到的微小泄漏可以通過(guò)使用氦氣進(jìn)行檢測(cè),。
使用氦氣的泄漏測(cè)試方法
真空方法 如何對(duì)
工件內(nèi)部進(jìn)行真空
真空噴涂法
真空罩法
加壓法 對(duì)
工件中的氦氣加壓的方法
嗅探器
真空鐘罩法
加壓集成方式
轟炸方式（工件沒(méi)有加壓口時(shí)）
選擇測(cè)試方法的示例
每種測(cè)試方法的特點(diǎn)
此外,，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置,，以降低運(yùn)行成本,，因此請(qǐng)單獨(dú)與我們聯(lián)系,。
我們將根據(jù)初始成本和運(yùn)行成本提出建議,。
真空法
| 測(cè)試方法 | 真空噴涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 檢漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整體測(cè)量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自動(dòng)化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 運(yùn)行成本 | △ | △ |
| 維護(hù)成本 | △ | △ |
| 受影響的產(chǎn)品 |  LDS3000 | |
加壓方式
| 測(cè)試 方法 | 真空 Bellger 法 | 轟炸方式 | 嗅探器 | 加壓集成方式 |
|---|---|---|---|---|
| 泄漏檢測(cè) 精度 | 1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
整體測(cè)量 | ○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置識(shí)別 | × | × | ○ | × |
| 自動(dòng)化 | ○ | ○ | △ | ○ |
| 初期 成本 | × | ○ | ○ | △ |
| 運(yùn)行 成本 | × | △ | × | × |
| 維護(hù)成本 | × | × | △ | △ |
| 受影響的產(chǎn)品 | LDS3000 |  P3000（XL） 系列 | LDS3000AQ | |
測(cè)試方法詳細(xì)信息
真空法
真空噴涂法
這是一種通過(guò)對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空排氣，用噴槍從外部噴射氦氣時(shí),，檢測(cè)泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法
這是一種對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽真空并用罩蓋住,，并在罩內(nèi)對(duì)氦氣加壓以檢測(cè)泄漏到工件中的氦氣的方法,。
加壓方式
嗅探器
這是一種在對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽吸后對(duì)氦氣加壓，然后用吸槍探頭將泄漏的氦氣吸出以檢測(cè)泄漏的方法,。
真空鐘罩法
這是一種將工件放置在腔室中,，對(duì)工件進(jìn)行抽真空，然后對(duì)氦氣加壓,，對(duì)腔室內(nèi)部進(jìn)行抽真空以將腔室內(nèi)部排出以檢測(cè)氦氣泄漏到真空室中的方法,。
加壓集成方式
這是一種將工件放入罩中，對(duì)工件進(jìn)行抽真空,，并對(duì)氦氣加壓,，以將從泄漏點(diǎn)泄漏到罩內(nèi)的氦氣積累一段時(shí)間，并檢測(cè)罩中積聚的氦氣（濃度）的方法,。
轟炸方式
這是將工件放入罐中,，抽真空一定時(shí)間，用氦氣加壓一定時(shí)間,，然后將工件從罐中取出,，將工件放入腔室中，對(duì)腔室進(jìn)行抽真空,，以檢測(cè)因泄漏而進(jìn)入工件的氦氣,。
泄漏測(cè)試設(shè)備 加壓積分法
加壓積分法電路配置
氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置
氦氣檢測(cè)傳感器原理
180° 磁場(chǎng)脫毛質(zhì)譜儀
進(jìn)入LDS3000AQ的氦氣通過(guò)渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子,，由于加速電壓,，它們沿 - 方向移動(dòng)。
+ 當(dāng)離子通過(guò)磁場(chǎng)時(shí)，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分,。
只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器,，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測(cè)量。
泄漏檢測(cè)設(shè)備 真空鐘罩法
真空鐘罩式反應(yīng)法電路配置
氦氣檢測(cè)器 LDS3000 電路配置
還有一個(gè)帶有內(nèi)置閥的集成檢漏儀,，可針對(duì)每個(gè)連接壓力自動(dòng)切換每個(gè)端口,。
氦氣檢測(cè)原理
180° 磁場(chǎng)脫毛質(zhì)譜儀
進(jìn)入LDS3000的氦氣通過(guò)渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管,。
到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子,，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動(dòng),。
+ 當(dāng)離子通過(guò)磁場(chǎng)時(shí),，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器,，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測(cè)量,。
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