電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器,，它由主體和測頭兩部分組成,，配上相應(yīng)的測量裝置(例如測量臺架等)，能夠完成各種精密測量,，具有精度高,、測量范圍廣,、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。因此,，電感測微儀被廣泛應(yīng)用于精密機械制造業(yè),、 晶體管和集成電路制造業(yè)以及其他相關(guān)行業(yè)的精密長度測量。

一,、電感測微儀的組成部分

1,、測微儀主體

電感測微儀配合測量臺架及專用測頭等輔助裝置，可將零件的實際表面與理想幾何表面的差異轉(zhuǎn)變?yōu)闇y頭的位移并與電信號相對應(yīng),通過放大電信號而對零件的質(zhì)量有直觀**的反映,。利用電感測微儀的這一-特性能夠完成各種精密測量,比如檢查工件的厚度,、內(nèi)徑,、外徑、圓度,、平行度,、直線度、徑向跳動等,。

2,、測量臺架

電感測微儀靈敏度很高，其測頭必須固定,，工件在測量時也必須進行**定位,。為實現(xiàn)這一要求，在測量中使用測量臺架以固定測頭并對工件進行定位,。

3,、專用測量頭

為利用電感測微儀對錐面進行檢測，需制作系列專用測量頭配套使用,。

定位桿起模擬內(nèi)孔基準的作用,，根據(jù)零件內(nèi)孔公差，按一定間隔制成不同的尺寸,。在保證定位桿尺寸精度的同時對定位桿的形位公差也必須進行嚴格控制,，如外圓圓度、素線直線度等都必須控制在0.0005mm以內(nèi),。定位桿右端的平面度必須控制在0.001mm以內(nèi),，且該平面對定位桿軸線的垂直度也應(yīng)該嚴格控制，因為該平面為測量面,，與電感測微儀測頭相接觸,，直接影響測量的精度。

定位測量頭與定位桿夾角為45°,，其在測量過程中始終與零件的錐面相接觸,，且與定位桿軸線的距離必須嚴格控制。為保證該距離符合要求,，可以將定位測量頭與定位桿使用細牙螺紋連接,，以便于調(diào)整,。同時必須保證定位測量頭部分面積盡可能小,，以保證其與零件的測量錐面為點接觸。為使較尖的部分有一定的耐磨性,，可對其進行淬火處理,。

二、電感測微儀的主要測量方法

測量前先對零件的內(nèi)孔進行測量,，然后根據(jù)內(nèi)孔的實際尺寸選擇相應(yīng)的定位桿,，以保證定位桿與內(nèi)孔的配合間隙在0.001mm以內(nèi)。調(diào)整電感測微儀的倍率，把零件放置在工作臺上,，將定位桿插入零件的孔中并進行旋轉(zhuǎn),，使定位測量頭在零件的小錐面上旋轉(zhuǎn)，觀察電感測微儀指針的偏擺,，根據(jù)相關(guān)計算公式驗算即可得到數(shù)據(jù),。

以上就是電感測微儀有哪些組成部分及測量方法的相關(guān)內(nèi)容介紹。通過上述內(nèi)容可知,，電感測微儀測量效果出眾,，各個組成部分都有具體作用，配合好的測量方法能夠得到正確的數(shù)據(jù),，因此應(yīng)用廣泛,。