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3PC1-001-0000-INFICON復(fù)合真空計(jì)
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貨物所在地：福建廈門市

更新時(shí)間：2025-03-17 08:29:12

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INFICON復(fù)合真空計(jì)
真空計(jì)（Vacuum Gauge），又名真空表,，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量,。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用,。

INFICON復(fù)合真空計(jì)



INFICON復(fù)合真空計(jì)


按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類,，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。


利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

INFICON復(fù)合真空計(jì)

與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。





熱陰極電離規(guī)



測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。



圖5 熱陰極電離規(guī)

如圖5所示,，熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子,，產(chǎn)生離子,，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流,，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進(jìn)而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。


經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。


由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定


在較高壓力時(shí)(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì),，薄膜計(jì),，彈簧管壓力計(jì)等。


在10～10Pa的中間壓力范圍,，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì),。


在低壓力時(shí),，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。


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INFICON PCG550 3PC1-001-0000

Infineon "FZ2400R17HE4_B9  "

infineon FF300R17KE3

Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1

Intel EXPI9301CTBLK

INTELLIGENT IM483

Interface IBX-2130CM

INTERFACE IBX-2726CM

interface PCI-2130C

Invensys MP-5210-0-0-4




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