氣體溫濕度在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性,。經(jīng)過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求,。
氣體溫濕度
【設備特點】
1、精確溫濕度調(diào)控:確保曝光機,、顯影/ 涂布設備等制程良率
2,、定制化風量設計:根據(jù)客戶的具體需求,定制風量,,送風單元結構均勻布置,,確保空氣流通的均勻性,,進一步提升制程質(zhì)量,。
3、超準溫度控制:溫度控制精度高達±0.01℃,,遠超行業(yè)標準,,為產(chǎn)線環(huán)境提供了的穩(wěn)定性,從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率,。
【產(chǎn)品應用】
1,、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃
2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH
3、廣泛適用領域:該設備廣泛應用于面板廠,、晶圓廠,、封裝測試廠等精密溫濕度控制領域,助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效,。
一、恒溫恒濕機在面板廠的應用
在面板制造過程中,,對溫濕度的控制至關重要,。精密恒溫恒濕機能夠為面板生產(chǎn)提供穩(wěn)定、精確的環(huán)境,。以下是精密恒溫恒濕機在面板廠的主要應用:
1,、提高面板產(chǎn)品質(zhì)量:通過精密恒溫恒濕控制,降低面板產(chǎn)品的缺陷率,,提高產(chǎn)品合格率,。
2、優(yōu)化生產(chǎn)流程:穩(wěn)定的環(huán)境有利于提高生產(chǎn)效率,,降低生產(chǎn)成本,。
3、保護設備:精密恒溫恒濕機能夠保護生產(chǎn)設備,,延長設備使用壽命,。
二、恒溫恒濕機在晶圓廠的應用
晶圓制造對溫濕度的要求高,,精密恒溫恒濕機在晶圓廠的應用主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
1,、提高晶圓產(chǎn)品質(zhì)量:穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低晶圓缺陷,提高產(chǎn)品質(zhì)量,。
2,、保障生產(chǎn)安全:精密恒溫恒濕機能夠防止靜電、氧化等不良現(xiàn)象,,確保生產(chǎn)安全,。
3、降低能耗:通過優(yōu)化溫濕度控制,,降低能耗,,提高生產(chǎn)效益。
三,、恒溫恒濕機在封裝測試廠的應用
1,、封裝測試廠對溫濕度的要求同樣嚴格,精密恒溫恒濕機在封裝測試廠的應用包括:
2,、提高封裝產(chǎn)品質(zhì)量:穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低封裝產(chǎn)品的缺陷率,,提高產(chǎn)品合格率。
3、保護測試設備:精密恒溫恒濕機能夠保護測試設備,,延長設備使用壽命,。
4、降低生產(chǎn)成本:優(yōu)化溫濕度控制,,降低能耗,,提高生產(chǎn)效益。











