半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器,、循環(huán)泵,、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備,。
半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,,主要由熱交換器、循環(huán)泵,、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性,、控制精度和響應(yīng)速度,。
半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備特點:
變頻控制,智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
![4-1.jpg](https://img51.chem17.com/baf745d1f3ba588b1b8e0a39befeaebe860ac243f83eb034ddc039e192e7e4f2b7494911bcd9ba71.jpg)
![4-2.jpg](https://img51.chem17.com/baf745d1f3ba588b1b8e0a39befeaebe3ccfc209a55d0474a6185d71c28bd5432d3ce6e06cbab481.jpg)
![4-3.jpg](https://img51.chem17.com/baf745d1f3ba588b1b8e0a39befeaebe23f55efce48cfb96c97ef641db29bf66f26d54f36a5ff730.jpg)
普泰克(proteco)制冷設(shè)備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域,、機械設(shè)計、軟件自控的專業(yè)人才,,依托于浙江大學(xué)制冷研究院的技術(shù)團隊支持,,致力于高低溫設(shè)備的研究、開發(fā),、制造,、銷售。
我司借鑒歐美技術(shù),,以模塊化部件為平臺,,衍生出多款高低溫設(shè)備產(chǎn)品,,提出:“個性化溫度控制解決方案"的理念!嚴(yán)格按照客戶要求進行規(guī)劃和制造,,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā),、新能源汽車、生物技術(shù),、醫(yī)藥行業(yè),、航空航天、半導(dǎo)體,、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè),。