風冷型冷水機主要由制冷系統(tǒng),、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng),、箱體等組成,。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器,、連接管路,、保溫等組成。
風冷型冷水機
PTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻,,也可選擇進行升溫與恒溫控制,。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體,。進氣溫度可以是常溫的,,也可以是高溫的,經(jīng)過氣體制冷機降至目標低溫,。針對于晶圓測試載冷臺的應用來說,,氣體制冷機相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢,如使用方便,、安全衛(wèi)生,、成本低、無異味等,??蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來選擇設(shè)備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng),、換熱系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、箱體等組成,。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,,壓縮機及主要制冷部件均采用品牌,。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路,、保溫等組成,。控制系統(tǒng)采用西門子PLC,,自適應PID控制算法,,面對不同的使用環(huán)境和負載,無需改變參數(shù),,即可實現(xiàn)最佳的溫度控制,。高清觸摸屏顯示,完善的安全保護措施,,設(shè)置有多種安全保護機制以確保系統(tǒng)的安全運行,。控制器物聯(lián)網(wǎng),,可在手機APP上進行遠程查看數(shù)據(jù),、報警信息和遠程操控;可選配冷量回收裝置,,提升能效,,避免低溫冷凝水,通過機組自身的制冷,,將進入裝置內(nèi)的干燥氣體進行降溫及恒溫處理,,滿足工藝條件要求。
快速降溫:自主設(shè)計的高效換熱系統(tǒng),,常溫的干燥壓縮空氣或者氮氣通入到PTLQ氣體制冷機后,,出來的氣體即可達到目標低溫溫度。
一體式結(jié)構(gòu):在工廠已將系統(tǒng)整體組裝完畢,,用戶只需要將電源,、氣體管路、冷卻水管路安裝完畢即可開機運行,。
防爆設(shè)計:可根據(jù)客戶實際使用需求,,定制各種類型的防爆設(shè)計。
高效換熱系統(tǒng):蒸發(fā)器采用板式換熱器部分產(chǎn)品可能會采用翅片管式換熱器,,換熱效率高,,結(jié)構(gòu)緊湊,,耐壓高,,承壓能力大于2.5MPa。
控制重復性:基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),,每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果,,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性,。
控溫系統(tǒng):自主開發(fā)的溫度控制模塊,改變控制設(shè)定的方法,,能夠盡快的響應過程中系統(tǒng)的滯后,,得到最小的溫度過沖??刂朴蓛山MPID(每組PID是可變的)控制回路構(gòu)成,,這兩組控制回路成為主回路和從回路,主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值,。系統(tǒng)采用帶有前饋PV,,主控回路的PID運行結(jié)果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設(shè)定值,通過這樣對溫度變化進行梯度控制,,保證系統(tǒng)的溫度精度,。
質(zhì)量保障:所有的關(guān)鍵部件均選用進口品牌,確保產(chǎn)品長時間可靠運行,。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴格測試與檢驗,,確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。
風冷型冷水機
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