風(fēng)冷型冷水機(jī)主要由制冷系統(tǒng),、換熱系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、箱體等組成,。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路,、保溫等組成,。
風(fēng)冷型冷水機(jī)
PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制,。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣,、氬氣等惰性氣體。進(jìn)氣溫度可以是常溫的,，也可以是高溫的,，經(jīng)過氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫,。針對于晶圓測試載冷臺的應(yīng)用來說，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢,，如使用方便,、安全衛(wèi)生、成本低,、無異味等,。客戶可根據(jù)氣體處理流量及溫度來選擇設(shè)備,。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng),、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng),、箱體等組成,。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用品牌,。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器,、連接管路、保溫等組成,?？刂葡到y(tǒng)采用西門子PLC，自適應(yīng)PID控制算法,，面對不同的使用環(huán)境和負(fù)載,，無需改變參數(shù)，即可實現(xiàn)最佳的溫度控制,。高清觸摸屏顯示,，完善的安全保護(hù)措施，設(shè)置有多種安全保護(hù)機(jī)制以確保系統(tǒng)的安全運行,?？刂破魑锫?lián)網(wǎng)，可在手機(jī)APP上進(jìn)行遠(yuǎn)程查看數(shù)據(jù),、報警信息和遠(yuǎn)程操控,；可選配冷量回收裝置，提升能效,，避免低溫冷凝水,，通過機(jī)組自身的制冷，將進(jìn)入裝置內(nèi)的干燥氣體進(jìn)行降溫及恒溫處理,，滿足工藝條件要求,。
快速降溫：自主設(shè)計的高效換熱系統(tǒng)，常溫的干燥壓縮空氣或者氮氣通入到PTLQ氣體制冷機(jī)后，出來的氣體即可達(dá)到目標(biāo)低溫溫度,。
一體式結(jié)構(gòu)：在工廠已將系統(tǒng)整體組裝完畢,，用戶只需要將電源、氣體管路,、冷卻水管路安裝完畢即可開機(jī)運行,。
防爆設(shè)計：可根據(jù)客戶實際使用需求，定制各種類型的防爆設(shè)計,。
高效換熱系統(tǒng)：蒸發(fā)器采用板式換熱器部分產(chǎn)品可能會采用翅片管式換熱器,，換熱效率高，結(jié)構(gòu)緊湊,，耐壓高,，承壓能力大于2.5MPa。
控制重復(fù)性：基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),，每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果,，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊,，改變控制設(shè)定的方法,，能夠盡快的響應(yīng)過程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過沖,?？刂朴蓛山MPID（每組PID是可變的）控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路,，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值,。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結(jié)果的輸出與前饋PV信號復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值,，通過這樣對溫度變化進(jìn)行梯度控制,，保證系統(tǒng)的溫度精度。
質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,，確保產(chǎn)品長時間可靠運行,。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴(yán)格測試與檢驗，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題,。
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