晶圓測(cè)試國(guó)產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)介紹：
晶圓測(cè)試國(guó)產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè),，在檢測(cè)的過(guò)程中,，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,。晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備(晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng))是高精度,，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備,，操作簡(jiǎn)單,，可非標(biāo)定制。
產(chǎn)品特征：
1.超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù),，可以滿足在300℃高溫直接開啟壓縮機(jī)制冷降溫,。
2.控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果,，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性,。
3.產(chǎn)品外觀：外觀設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，采用大口徑石英玻璃液位計(jì),，液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè),，觀察方便，風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚,，比列協(xié)調(diào),，專有的色彩搭配。
4.控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊,，改變控制設(shè)定的方法,，能夠盡快的響應(yīng)過(guò)程中系統(tǒng)的滯后，得到最小溫度過(guò)沖,?？刂朴蓛山MPID(每組PID是可變的)控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路,，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值,。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值,，通過(guò)這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制,，保證系統(tǒng)的溫度精度,。
5.高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻,，參與循環(huán)的液體非常少,，制冷采用板式換熱器，換熱效率高,、結(jié)構(gòu)緊湊,，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統(tǒng)的容積(板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積),。
6.質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,，確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn),，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題,。
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