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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 食品/農產品,能源,電子/電池,汽車及零部件,綜合 |
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CS-131是半導體制造清洗過程中使用的SC-1溶液的高精度化學濃度監(jiān)測儀,,實現了高速響應和緊湊性。持續(xù)監(jiān)測用于去除顆粒和有機物的SC-1溶液(NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O)的每種成分的濃度,。通過使用監(jiān)視器輸出進行反饋控制,,可以將SC-1溶液的濃度維持在可接受的范圍內并消除不必要的化學交換
HORIBA堀場 濃度監(jiān)測儀 pH計 流量計 CS-131C-22-W2P
CS-131是半導體制造清洗過程中使用的SC-1溶液的高精度化學濃度監(jiān)測儀,實現了高速響應和緊湊性,。持續(xù)監(jiān)測用于去除顆粒和有機物的SC-1溶液(NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O)的每種成分的濃度,。通過使用監(jiān)視器輸出進行反饋控制,可以將SC-1溶液的濃度維持在可接受的范圍內并消除不必要的化學交換,。我們還有一個集成冷卻器型號,,支持較寬的樣品溫度范圍
HORIBA堀場 濃度監(jiān)測儀 pH計 流量計 CS-131C-22-W2P
支持 300mm 工藝中的濃度管理,測量周期約為 2 秒 (*)
實現了約2秒的短測量周期(*)的高速響應,。我們支持多槽和單槽清潔設備的詳細濃度控制,。(*不包括化學品更換時間或冷卻時間)
緊湊的設計有助于節(jié)省清潔設備的空間,。
與傳統型號相比,緊湊的設計可減少約 2/3 (*) 的占地面積,有助于節(jié)省清潔設備的空間,。可輕松集成到清潔設備中,。
(*與本公司產品CS-220系列比較)
通過減少清潔過程中的批次缺陷來提高產量
通過使用監(jiān)視器輸出控制 SC-1 溶液的補充,,實現了高度可重復的清潔。這減少了清潔過程中的批次缺陷并有助于提高產量,。
全自動測量,,輕松管理
。用戶只需引入SC-1解決方案,。測量是全自動的,,因此測量開始后無需控制。此外,,參考光譜測量使用空氣,,因此不需要水作為公用設施。
通過消除氣泡措施,,可以測量高溫樣品,。氣泡
在脫氣罐中分離,測量過程中使用電磁閥最大限度地減少氣泡進入流通池,。此外,,如果集成了冷卻器,高溫樣本可以直接傳遞到監(jiān)測儀,。
采用24V DC,,安全性高
采用低壓24V DC供電,,進一步提高了防觸電安全性。此外,,內置漏水傳感器可實現緊急響應,,例如在漏水時切斷 SC-1 溶液的供應