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日本株式會(huì)社KELK是制作超純水加熱器,、精密溫度控制器的專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)家,,原名日本小松制作所(KOMATSU),,有55年的研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn),。
與日本CREEN公司及其他半導(dǎo)體設(shè)備公司合作,,KELK的超純水加熱器被廣泛應(yīng)用于FPD,、半導(dǎo)體,、鋰電池、太陽(yáng)能電池的清洗生產(chǎn)線(xiàn)中,,
憑借著技術(shù),,受到了美國(guó)、歐洲,、中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)等地著名半導(dǎo)體工廠(chǎng)的青睞,。
超純水加熱器PWH-i系列是KELK的最新產(chǎn)品,量產(chǎn)始于2007年,,加熱用石英組件,、純水循環(huán)回路等關(guān)鍵配件均在無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室完成,采用高效高壽命的鹵素?zé)艚t線(xiàn)加熱方式,,實(shí)現(xiàn)無(wú)污染,、無(wú)損害、高效率加熱,主要用于清洗半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線(xiàn)上的硅晶片和液晶制造生產(chǎn)線(xiàn)上的玻璃基板,。
產(chǎn)品主要特征
1. 清潔
加熱部的容器采用高純度石英,,配管采用氟樹(shù)脂材料,加熱過(guò)程潔凈,、無(wú)雜質(zhì),、無(wú)污染。
2. 體積纖巧
采用超薄型纖巧設(shè)計(jì),,大大節(jié)省了置放空間,。
3. 高性能溫度調(diào)節(jié)
采用高功率輸出的鹵素?zé)簦蓪?shí)現(xiàn)快速升溫并根據(jù)流量變化來(lái)調(diào)節(jié)溫度,。
4. 高效率
加熱效率達(dá)95%以上,。
5. 安全
具備對(duì)應(yīng)過(guò)高溫、干燒及漏夜等異?,F(xiàn)象的安全功能及報(bào)警功能,。
主要用途
1. 清洗硅晶片。
2. 清洗液晶玻璃基板,。
3. 可代替其他用氟利昂清洗的溫純水清洗