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傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡,，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果,。鐳測科技推出的鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡,，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現(xiàn)高精度測量,，是真正意義上的非接觸式測量,。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外，還可適合于微,、小,、輕、薄,、毒,、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量，如液面高度,、半導(dǎo)體晶圓位置,、微機械位移、材料膨脹系數(shù),、振動等,。
       
       以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點：

1、高靈敏度,，可實現(xiàn)對非配合目標(biāo)的非接觸式測量
2,、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂,。
3,、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源,。

     鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達納米量級,，量程可達2m，如果加擴束鏡,，可達數(shù)米,。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長,，從而無需標(biāo)定,。
產(chǎn)品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成,。