產(chǎn)品簡(jiǎn)介
鐳測(cè)科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定、更高精度,、更便利的使用要求,;以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ),在保留高穩(wěn)定性,、高精度,、高采樣速率性能的同時(shí),將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里,,一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便,、易用、友好的使用體驗(yàn),;典型頻差7±0.5 MHz,,測(cè)速高達(dá)2m/s。
詳細(xì)介紹
鐳測(cè)科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定,、更高精度,、更便利的使用要求;以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ),,在保留高穩(wěn)定性,、高精度、高采樣速率的同時(shí),,將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里,,一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用,、友好的使用體驗(yàn),;典型頻差7±0.5 MHz,測(cè)速高達(dá)2m/s,。
系統(tǒng)組成:
鐳測(cè)科技雙頻激光干涉儀 LH2000激光測(cè)頭及附件
環(huán)境補(bǔ)償單元
LaserLC測(cè)量軟件
線性位移測(cè)量鏡組(選配:角度,、直線度、垂直度,、平面度測(cè)量鏡組等)
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測(cè)量附件
激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
激光頭重量 | 3.3kg |
激光光束直徑 | 6mm |
激光功率 | >0.5mw |
真空波長(zhǎng) | 632.99nm |
頻差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
工作溫度范圍 | +10℃~+30℃ |
儲(chǔ)存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
激光穩(wěn)頻精度 | ±0.02ppm |
線性測(cè)量范圍 | 40m |
線性測(cè)量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器) |
分辨率 | 1nm |
測(cè)量速度 | 2m/s |
工作電源 | 220V/50Hz |
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