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1,、重復(fù)定位精度測量原理
     重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量,，即對待測平移裝置的定位進行多次測量,，比較得到同一位移指令下的定位精度,。
     線性度測量是激光干涉儀的基本測量,，原理如圖所示,。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡,，它形成干涉儀的參考光路,。另一個角錐反射鏡安裝到待測目標上，它與干涉鏡之間形成干涉儀的測量光路,。隨著平移裝置多次位移,，每移動設(shè)定位移量之后，由干涉儀記錄測量光路改變量,，即平移裝置的位移量,。
 

2、測量數(shù)據(jù)處理
     重復(fù)定位精度包括平移裝置的單點定位精度和整個位移范圍內(nèi)的不同位置點上的定位精度兩種,。前者可以通過調(diào)整裝置使多次移動到同一標稱位置,，并暫停幾秒，記錄位移量,；測量其位移偏差量,；后者擇在整個位移范圍不同位置點上測量實際位移與標稱值的偏差，使待測位移裝置移動到目標位置點,，并暫定進行測量,。將多次定位測量數(shù)據(jù)進行分析處理，得到裝置的重復(fù)定位精度,。
3,、重復(fù)定位精度測量用組件
     重復(fù)定位精度測量用到的激光干涉儀組件：
     激光干涉儀測頭、線性測量光學(xué)鏡組,、光路折轉(zhuǎn)量光學(xué)鏡組,、環(huán)境補償單元、Leice Measure測量軟件,、Leice Analysis 分析軟件,。
4、重復(fù)定位精度測量應(yīng)用
數(shù)控機床/坐標測量機導(dǎo)軌的重復(fù)定位精度測量
機床X,、Y軸平移臺的重復(fù)定位精度測量
高精度機械元件的校準
線性電機或壓電陶瓷平移臺的重復(fù)定位精度測量