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日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型

參   考   價: ￥ 5500

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SCRD4

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-08-22 16:57:15瀏覽次數(shù)：676次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞,。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓,。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓,。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑,、抗蝕劑等的溶解去除,、剝離等。

日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞,。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓,。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓,。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備。

4.加入添加劑,、抗蝕劑等的溶解去除,、剝離等。

規(guī)格


使用流體CO2
使用壓力14MPa
使用溫度40℃
腔室內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能電氣安全裝置,、機械安全裝置,、防過熱保護(hù)
控制面板采用觸摸屏進(jìn)行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
重量約60kg
電源AC100V 50/60Hz 10A


日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞,。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的,、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓,。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備,。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除,、剝離等,。

規(guī)格


使用流體CO2
使用壓力14MPa
使用溫度40℃
腔室內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能電氣安全裝置、機械安全裝置,、防過熱保護(hù)
控制面板采用觸摸屏進(jìn)行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
重量約60kg
電源AC100V 50/60Hz 10A




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