產(chǎn)地類別 |
進口 |
應用領(lǐng)域 |
綜合 |
日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,,可以對各種半導體工藝進行干燥處理,??梢赃M行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗,。配備紫外線燈,、臭氧發(fā)生器和加熱臺,紫外線照射,、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性,,而不會對基材造成電氣損壞。
日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,,可以對各種半導體工藝進行干燥處理,。可以進行有機物去除和表面改性,,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗,。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺,,紫外線照射,、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞,。
特征:
-由于同時使用紫外線 (UV),、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現(xiàn)高效清潔,。
-離子或電子不會對元件造成損壞,。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,,因此不需要臭氧處理設備。
-由于大氣壓處理,,不需要真空系統(tǒng),。
日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理,??梢赃M行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗,。配備紫外線燈,、臭氧發(fā)生器和加熱臺,紫外線照射,、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性,,而不會對基材造成電氣損壞。
特征:
-由于同時使用紫外線 (UV),、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,,因此可以實現(xiàn)高效清潔。
-離子或電子不會對元件造成損壞,。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備,。
-由于大氣壓處理,,不需要真空系統(tǒng)。
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