產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
綜合 |
美國Laurell ø300mm旋涂機(jī) H6-15
勞雷爾 H6-15?旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,,功能先進(jìn),是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機(jī),。 這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板,,最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于ø 100mm 硅晶圓)。
美國Laurell ?300mm旋涂機(jī) H6-15
勞雷爾 H6-15旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,,功能先進(jìn),,是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機(jī)。 這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板,,最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于? 100mm 硅晶圓),。
封閉式碗狀設(shè)計,加上過程控制器的精確性,,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥,,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,,以提供重疊密封,,蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝,,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上,。
美國Laurell ?300mm旋涂機(jī) H6-15
勞雷爾 H6-15旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,,功能先進(jìn),是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機(jī),。 這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板,,最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于? 100mm 硅晶圓)。
封閉式碗狀設(shè)計,,加上過程控制器的精確性,,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染,。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,,以提供重疊密封,蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝,,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。
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