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日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計(jì)

參   考   價(jià): ￥ 4410

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號CS-620F

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間：2024-08-28 15:21:47瀏覽次數(shù)：380次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合
日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計(jì) CS-620F
在 3D NAND 制程中,，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅,，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層,。在該制程中,，通過控制化學(xué)藥液的濃度和溫度,，可以獲得期望的刻蝕速率,。成熟型號很難測量高溫化學(xué)藥液,，但 CS-620F 能夠在高達(dá) 170℃ 的高溫下進(jìn)行測量,。使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測量，與其他方法相比,，需要的維護(hù)和耗材更少。

日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計(jì) CS-620F

在 3D NAND 制程中，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅,，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層,。在該制程中,，通過控制化學(xué)藥液的濃度和溫度，可以獲得期望的刻蝕速率,。成熟型號很難測量高溫化學(xué)藥液,，但 CS-620F 能夠在高達(dá) 170℃ 的高溫下進(jìn)行測量,。使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測量,，與其他方法相比,，需要的維護(hù)和耗材更少,。

主要特征：

可測量高達(dá) 92% 的高濃度磷酸

無需冷卻機(jī)制和冷卻時(shí)間,。

無需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸（140 至 170℃）,，可直接測量,。

樣品使用PFA接觸，以降低污染風(fēng)險(xiǎn),。

采用每半年一次的背景校正周期,，有助于顯著減少機(jī)臺停機(jī)時(shí)間。

每3秒更新一次測量數(shù)據(jù)，有助于更快速使用濃度反饋進(jìn)行控制

日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計(jì) CS-620F

在 3D NAND 制程中,，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層,。在該制程中,，通過控制化學(xué)藥液的濃度和溫度,，可以獲得期望的刻蝕速率,。成熟型號很難測量高溫化學(xué)藥液,，但 CS-620F 能夠在高達(dá) 170℃ 的高溫下進(jìn)行測量。使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測量,，與其他方法相比,，需要的維護(hù)和耗材更少。

主要特征：

可測量高達(dá) 92% 的高濃度磷酸

無需冷卻機(jī)制和冷卻時(shí)間,。

無需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸（140 至 170℃）,，可直接測量。

樣品使用PFA接觸,，以降低污染風(fēng)險(xiǎn),。

采用每半年一次的背景校正周期，有助于顯著減少機(jī)臺停機(jī)時(shí)間,。

每3秒更新一次測量數(shù)據(jù),，有助于更快速使用濃度反饋進(jìn)行控制

日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計(jì)


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