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csys激光掃描表面形狀檢查機CSYS12-300介紹,?

時間:2024/3/7閱讀:426
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激光掃描表面形狀檢查機

核心系統(tǒng)“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米,,可以測量大范圍內(nèi)的微小高度變化,。其他公司無法重現(xiàn)實際的表面變化,,因為它們將小區(qū)域的數(shù)據(jù)圖像拼接在一起,。

核心系統(tǒng)是“激光表面形狀檢查機",可檢查半導(dǎo)體晶圓(Si,、SiC,、GaN等)、MEMS,、硬盤,、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度",??梢愿哽`敏度、快速,、大范圍地檢查“起伏",、“顆粒"、“劃痕",,并顯示“數(shù)字數(shù)據(jù)"和“3D圖像數(shù)據(jù)" ."


【特征】

① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀(粗糙度,、波紋度、劃痕,、污垢,、顆粒)測量數(shù)據(jù)

② 檢測靈敏度高,,可在較寬的測量范圍內(nèi)進行快速測量,并可進行數(shù)字圖像顯示,。

③ 光學(xué)檢測原理和結(jié)構(gòu)簡單,,可靠性高

④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時間內(nèi)完成掃描的,因此具有的抗振能力,,不需要隔振臺或隔振裝置,。

⑤ 所有在線過程的無損檢測,可實現(xiàn)自動化


[被測工件]

半導(dǎo)體晶圓,、硬盤,、金屬薄膜、薄膜,、FPD,、MEMS等

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