與DeviceNet通信兼容的質(zhì)量流量控制器。
安裝在最新半導體制造設備中的控制設備越來越多地使用開放現(xiàn)場工作通信來實現(xiàn)高速控制和簡化布線,，而不是模擬控制,。
琳得科在業(yè)內(nèi)
開發(fā)了 MC-5000L,，這是一款符合 SEMI 標準的 DeviceNet™ 通信質(zhì)量流量控制器。配備半導體制造所需的金屬密封件和環(huán)境溫度補償流量傳感器,。還提供各種選項,，例如兼容液化氣體。
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