產(chǎn)品特點(diǎn)/功能
測(cè)量測(cè)試儀(RT-70V)和測(cè)量臺(tái)的組合
<測(cè)量測(cè)試儀:RT-70V>
使用 JOG 旋鈕輕松操作 ?厚度,、溫度、PN 輸入(RT-70V 測(cè)試儀)
自檢功能,、自動(dòng)測(cè)量范圍切換,、4 種測(cè)量模式
具有厚度和溫度校正功能(適用于硅)
測(cè)量規(guī)格
測(cè)量目標(biāo)
半導(dǎo)體及太陽能電池材料(硅、多晶硅,、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管,、DLC、石墨烯,、銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,、ITO等)
擴(kuò)散樣品
目標(biāo)尺寸
*取決于組合測(cè)量臺(tái)類型。
圓形:最大 300 毫米(12 英寸),,方形:最大 730 x 920 毫米,。
測(cè)量范圍
[電阻率(電阻率)] 1μ ~ 300kΩ?cm
[表面電阻] 5m ~ 10MΩ/sq
[電阻率(電阻率)] 1μ~300kΩ?cm
[表面電阻] 5m~10MΩ/sq
產(chǎn)品尺寸
RT-70V:W250×D330×H130mm
約7kg
測(cè)量階段
1. RG-7C:電動(dòng)探針升降自動(dòng)平臺(tái)
2. RG-5:帶手動(dòng)桿的探頭上/下平臺(tái)
3. RG-7S:玻璃基板/薄膜樣品的X-Y平臺(tái)
4.TS-7D:手持式探頭型 *可選配載物臺(tái)。