| 型式 | PPS-8500 |
|---|---|
| 板材尺寸 | 510 x 515mm(Max) |
| 解像力 | 2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm) |
| NA（開口數(shù)） | 0.16,、0.1可變 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Field尺寸 | 52mm × 33mm |
| 光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動(dòng)) |
| 視野尺寸 | 6inch |
| 重復(fù)對(duì)位精度 | ≦1.0 µm(|Ave|+3σ) |
| 裝置尺寸／重量 | （W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg |
- 儀器
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